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본 연구에서는 열전달을 이용하여 빠르게 웨이퍼의 휨을 측정하여 양품과 불량품을 판별함으로써, 생산과정에 웨이퍼의 휨을 전수 조사할 수 있는 새로운 간이 측정 방법을 제안하고자 한다.
本研究では、熱伝達を利用して素早くウエハーの反りを測定して良品と不良品を判別することにより、生産過程にウェーハの反りを全数調査できる新しい簡易測定方法を提案しようとする。