내가 위에서 알려준 문서를 일본어로 번역해볼래?
진공공정, WET공정 설비의 인화성 가스 및 인화성 액체 공급설비에 대한 폭발위험범위를 상기 규격과 Code를 통하여 설정하고 상호 규격및 Code간의 차이 및 FAB장비의 특성을 고려한 환경적, 설비적 조건을 검토하였다.
真空プロセス、WETプロセス設備の引火性ガス及び引火性液体の供給設備に対する爆発リスク範囲を上記の規格とコードに従って設定し、相互規格及びコード間の違い及びFAB装置の特性を考慮した環境的、設備的条件を検討した。