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산화물 반도체 가스센서는 실리콘에 취약하고, 고온고습, 화학가스가 자주 접촉하면 경시변화가 심하게 일어나 센서의 저항이 변하여 감도가 변하므로 사용에 주의하여야 한다.
酸化物半導体ガスセンサーはシリコンに脆弱で、高温高湿、化学ガスが頻繁に接触すると経時変化が激しく起こり、センサーの抵抗が変化して感度が変化するため、使用に注意しなければならない。