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이러한 전체 후처리 공정에서도 반도체 및 디스플레이 생산장비에서 배출되는 혼합 폐가스를 효과적으로 제어하기 위한 POU 가스 스크러버는 다른 후처리 공정에 비해 해결해야 하는 기술적 과제들이 많다.
このような全体後処理工程でも半導体およびディスプレイ生産装備から排出される混合廃ガスを効果的に制御するためのPOUガススクラバーは他の後処理工程に比べて解決しなければならない技術的課題が多い。