제시된 문장을 분석하여 일본어로 번역해줘.
F는 식각 공정 플라즈마에서 Si과 결합하여SiF, SiF 형태로 Si을 식각시키는 기여종으로 24식각률을 결정하는데 주요한 인자이기 때문에 가상계측 모델에서도 가장 높은 기여도를 보인다.
Fはエッチング工程プラズマでSiと結合してSiF、SiF形態でSiをエッチングさせる寄与種であり、24エッチング率を決めるのに主な因子であるため、仮想計測モデルでも最も高い寄与度を示す。