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본 연구에서는 레이저 결정화 전 비정질 실리콘을 탈수소하기 위해 430도 온도에서 2시간 열처리를 진행하였으며, 또한, 폴리실리콘내에 주입된 도펀트들을 활성화시키기 위해서 같은 조건으로 열처리했다.
本研究では、レーザ結晶化前の非晶質シリコンを脱水素するために430度の温度で2時間熱処理を行い、また、ポリシリコン内に注入されたドーパントを活性化するために同じ条件で熱処理した。