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이러한 문제점으로 인해 실제 현장에 도입되기에는 기술적 한계점이 확인되었으며, 이들을 대체하기 위하여 진공펌프 후단에 설치되는 상압용 POU 플라즈마 스크러버 기술개발이 진행되었다.
これらの問題により実際の現場に導入されるには技術的な限界点が確認され、これらを代替するために真空ポンプ後段に設置される常圧用POUプラズマスクラバー技術開発が進行された。