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본 논문에서는 OES를 활용하여 시간 경과에 따른 MFC 노후화를 가정한 플라즈마 데이터를 획득하고, 이를 활용하여 반도체 장비 이상 감지 및 분류를 수행하는 알고리즘을 제시하고자 한다.
本論文では、OESを活用して時間経過に伴うMFC老朽化を仮定したプラズマデータを取得し、これを活用して半導体装置の異常検知及び分類を行うアルゴリズムを提示しようとする。