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POU 가스 스크러버 방식은 처리 대상인 PFCs 가스 조성에 따라 적용 방식에 차이가 있으며, CF4에 경우 화학적으로 매우 안정한 물질로써 SF6, NF3와 비교하여 매우 높은 분해 온도를 요구하는 특징이 있다.
POUガススクラバー方式は処理対象であるPFCsガスの組成によって適用方式に違いがあり、CF4の場合化学的に非常に安定的な物質として、SF6、NF3と比較して非常に高い分解温度を求める特徴がある。