문장의 문법과 의미를 분석하여 일본어로 번역.
플라즈마 식각 공정은 건식 식각 방법의 하나로, 반응성 가스를 전기적 활성화를 통해 플라즈마 상태로 만든 뒤에, 이를 사용하여 특정 물질을 선택적으로 식각 하는 공정이다.
プラズマエッチングプロセスは乾式エッチング方法の一つであり、反応性ガスを電気的活性化を通じてプラズマ状態にした後、これを用いて特定物質を選択的にエッチングするプロセスである。