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또 한편으로 칩 전체에 EUV를 사용하는 것이 아닌 고해상도가 필요한 핵심 회로에만 EUV를 사용하도록 하는 공정 최적화를 단행하여 EUV로 인한 웨이퍼 처리량 하락을 상쇄하고자 했다.
又、チップ全体にEUVを使用するのではなく、高解像度が必要な重要回路のみにEUVを使用するようにする工程最適化を断行し、EUVによるウェハースループットの低下を相殺しようとした。