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공정의 어려움은 곧 새로운 부품 수요로 이어진다 식각 공정을 수행하기 위해 웨이퍼를 장비 안에 투입하면 가장 먼저 장비 내부의 기체를 제거해 높은 수준의 진공을 형성해야 한다.
プロセスの難しさはすぐに新しい部品の需要につながる、エッチングプロセスを実行するためにウェーハを装置内に投入すると、最初に装置内部の気体を除去して高レベルの真空を形成する必要がある。