문장의 문법과 의미를 잘 이해하여 일본어로 번역해.
SEM, XRD, TEM등의 분석장비를 이용하여 형태학적, 조성적, 구조적분석을 통해 나노물질의 검증이 이루어졌으며, NO2 가스 2, 6, 10 ppm에 대하여 저온 50oC에서 감응도를 각각 1.096, 1.155, 1.252의 결과값을 얻었다.
SEM、XRD、TEMなどの分析装置を用いて形態学的、組成的、構造的分析を通じたナノ物質の検証が行われ、NO2ガス2、6、10ppmに対して低温50℃で感応度はそれぞれ1.096、1.155、1.252の結果値を得た。