문장의 문법과 의미를 분석하여 일본어로 번역.
본 논문에서는 대학 내 연구환경에서 사용하는 릴레이로 구성된 반도체 장비에 제어기인 PLC를 적용하여 PC 를 통해 장비 제어 및 데이터를 시각적으로 확인할 수 있는 SCADA 시스템을 구현하였다.
本論文では、大学内の研究環境で使用するリレーで構成された半導体装備に制御器であるPLCを適用し、PCを通じて装備の制御及びデータを視覚的に確認できるSCADAシステムを具現した。