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위의 두 평가를 통해 ALD Al2O3 박막은 항온 항습 노출에 의해 취약한 환경 신뢰성을 보여주었고, 이는 봉지막의 주요 요구 특성인 배리어 및 기계적 성능의 급격한 저하를 초래하였다.
上記の2つの評価により、ALD Al2O3薄膜は恒温恒湿暴露出によって脆弱な環境信頼性を示し、これは薄膜封止が主要要求特性であるバリアおよび機械的性能の急激な低下を招いた。