제시된 문장을 분석하여 일본어로 번역해줘.
상압용 POU 플라즈마 스크러버에는 2000년대 초부터 본격적으로 기술개발이 진행되어 왔으며, 앞서 저압용 POU 플라즈마 스크러버와 달리 상압에서 안정적으로 플라즈마를 형성하고 효과적인 PFCs 제거를위한 열플라즈마 방식이 도입되었다.
常圧用POUプラズマスクラバーには2000年代初めから本格的に技術開発が進行されており、先に低圧用POUプラズマスクラバーとは異なり常圧で安定的にプラズマを形成し、効果的なPFCs除去のための熱プラズマ方式が導入された。