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진공펌프 후단에 설치되는 POU 플라즈마 스크러버에 경우 낮은 에너지 효율 특성이 확인되었지만, 메인 제조공정에 영향을 주는 문제점을 개선함으로써 현장에서는 이에 대한 요구가 지속적으로 진행되고 있다.
真空ポンプ後段に設置されるPOUプラズマスクラバーの場合、低いエネルギーの効率特性が確認されたが、主な製造プロセスに影響を与える問題点を改善することで、現場ではこれに対する要求が続いている。