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POU 가스 스크러버 시스템 반도체 및 디스플레이 제조공정에서 사용되는 POU 가스 스크러버 종류는 화학적으로 안정한 PFCs 처리를 위한 열에너지 공급 방식에 따라 분류될 수 있다.
POUガススクラバーシステムの半導体およびディスプレイ製造プロセスで用いられるPOUガススクラバーの種類は、化学的に安定したPFC処理のための熱エネルギーの供給方式によって分類されることができる。