일본어로 번역해줘
마이크로 전기기계 시스템：기계적 부품이 전기적 요소와 하나의 기판상에 형성된 소형 스마트 시스템나노카본：탄소 재료로 입자 크기가 100 nm 이하인 소재이며, 나노카본은 다음의 세 가지 형태로 존재할 수 있다.
マイクロ電気機械システム : 機械的部品が電気的要素と一つの基板上に形成された小型スマートシステムのこと。 ナノカーボン : 炭素材料で粒子サイズが100nm以下の素材であり、ナノカーボンは次の3つの形態で存在できる。