문장의 의미를 잘 파악하여 일본어로 번역해줘.
2021년 삼성전자의 5나노미터 공정의 월 웨이퍼 투입량이 2만 5,000장이고 3나노미터 공정의 투입량이 3,000장이라고 가정할 때, EUV 펠리클 필요량은 840개로 추정된다.
2021年、サムスン電子の5ナノメートル工程の月ウェーハ投入量が2万5,000枚、3ナノメートル工程の投入量が3,000枚と仮定すると、EUVペリクルの必要量は840個と推定される。