일본어 문장으로 변환 부탁
기존 반도체 증착 기술과 너무 다르고, 화학 반응이 매우 느린 속도로 이루어지는 데다가 형성되는 박막도 너무 얇아서 반도체 업체가 원하는 두께의 박막을 만들기에는 생산성이 떨어졌기 때문이다.
従来の半導体蒸着技術とあまりに異なり、化学反応が非常に遅い速度で行われる上に形成される薄膜も薄すぎて、半導体メーカーが望む厚さの薄膜を作るには生産性が低かったためだ。