방금 제시된 문서를 일본어로 바꿔줄래?
이러한 전압변화를 이용, 기준 신호와 기준 임피던스와 측정부 임피던스 간 상관관계식을 이용하여 Ar 가스 유량과 O2가스 유량 및 인가RF 전력에 따른 대기압 플라즈마 밀도를 실시간으로 측정하였다.
このような電圧変化を利用して、基準信号と基準インピーダンスと測定部インピーダンス間の相関式を利用してArガス流量とO2ガス流量および印加RF電力による大気圧プラズマ密度をリアルタイムで測定した。