일본어로 번역
카르복실기 함유 세정액에서는 낮은 pH 영역에서 구리 산화물의 식각속도가 최대를 나타냈으며 pH 증가에 따른 식각속도가 감소하는 특성을 보이나, 구리의 경우는 pH 증가에따른 감소폭이 상대적으로 낮음을 보였다.
カルボキシル基含有洗浄液では低いpH領域で銅酸化物のエッチング速度が最大を示し、pH増加に伴うエッチング速度が減少する特性を示したが、銅の場合はpH増加による減少幅が相対的に低いことを示した。