일본어로 바꿔라
웨이퍼는 빛이 만들어내는 패턴을 따라 나노미터 단위로 정밀하게 동기화되어 움직이는데, 이러한 과정이 진행되는 건물만한 거대 장비의 내부는 반사율 감소와 광원 소실을 최소화하기 위해 진공 상태를 유지해야 한다.
ウェーハは光が生み出すパターンに沿ってナノメートル単位で正確に同期化して動くが、このような過程が進められる建物のような巨大装備の内部は反射率の低下と光源の消失を最大限に抑えるために真空状態を維持しなければならない。