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본 연구는 세정액 재료로 아민기와 카르복실기를 갖는 다양한 성분들을 채택하였으며, 각각의 성분들이 갖는 식각 잔류물제거 특성의 평가를 위해 구리 산화물과 구리의 식각속도를 구리이온의 용해도 측정을 통하여 분석하였다.
本研究は、洗浄液の材料としてアミン基とカルボキシル基を有する様々な成分を採択し、それぞれの成分が有するエッチング残留物除去特性の評価のために銅酸化物と銅のエッチング速度を銅イオンの溶解度測定を通じて分析した。