일본어로 번역해줘
메탈 베이스 재료는 상온의 냉각수를 사용하는 기존 정전척에서 주로 사용하는 Al과 다르게 액화질소를 사용하는 극저온 정전척이기 때문에 극저온에서의 일정 이상의 강도를 갖고 열 전달 효율이 큰 SUS304로 설정했다.
メタルベース材料は、常温の冷却水を使用する従来の静電チャックで主に使用するAlとは異なり、液化窒素を使用する極低温静電チャックであるため、極低温での一定以上の強度を持ち、熱伝達効率が大きいSUS304に設定した。