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실제 실험에서는 웨이퍼를 상온에서부터 가열하면서 히터의 가열 속도를 측정하는 방식과 가열되어 있는 히터위에 상온의 웨이퍼를 얹었을 때 히터 온도가 떨어지는 정도를 측정하는 두 가지방식을 시도하였다.
実際の実験では、ウエハーを常温から加熱しながらヒーターの加熱速度を測定する方式と、加熱されているヒーターの上に常温のウエハーを載せたときにヒーター温度が低下する程度を測定する2つの方式を試みた。