문장의 문법과 의미를 분석하여 일본어로 번역.
이에 반해 이온빔 및 전자빔 리소그래피는 광 리소그래피와 비교하면 뛰어난 분해능을 가지므로 매우 미세한 패턴을 만들기에 유리하나 웨이퍼상에 균일한 빔을 대량 쏘아주는 것이 어려워 대량 생산에 부적합하다.
一方で、イオンビームおよび電子ビームリソグラフィは、光リソグラフィと比較すると優れた分解能を有するため、非常に微細なパターンを作るのに有利であるが、ウェーハ上に均一なビームを大量に射出することは難しく、大量生産には不向きである。