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결론적으로 OES 데이터를 기반으로 플라즈마 상태를 모니터링하여 MFC 노후화를 가정한 공정 주입 가스유량 변화에 따른 이상 상태를 감지할 수있었고, 인공면역체계 알고리즘을 적용하는 새로운 방법론을 확인하였다.
結論的にOESデータに基づいてプラズマ状態をモニタリングし、MFC老朽化を仮定したプロセス注入のガス流量の変化による異常状態を感知することができた上、人工免疫系アルゴリズムを適用する新しい方法論を確認した。