Ngày 28 tháng 10 năm 1995, Chính phủ ra Nghị định 69/CP thành lập quận Tây Hồ trên cơ sở toàn bộ diện tích tự nhiên và dân số của 3 phường: Bưởi, Thụy Khuê, Yên Phụ thuộc quận Ba Đình và 5 xã: Tứ Liên, Nhật Tân, Quảng An, Xuân La, Phú Thượng thuộc huyện Từ Liêm. Ngày 26 tháng 11 năm 1996, Chính phủ ra Nghị định 74/CP thành lập quận Thanh Xuân trên cơ sở toàn bộ diện tích tự nhiên và dân số của 5 phường: Thanh Xuân Bắc, Thanh Xuân, Thượng Đình, Kim Giang, Phương Liệt, 78,1ha diện tích và 20.862 nhân khẩu của phường Nguyễn Trãi, 98,4ha diện tích và 5.506 nhân khẩu của phường Khương Thượng thuộc quận Đống Đa, toàn bộ diện tích tự nhiên và dân số của xã Nhân Chính thuộc huyện Từ Liêm và xã Khương Đình thuộc huyện Thanh Trì; cũng trong Nghị định này quyết định thành lập quận Cầu Giấy trên cơ sở toàn bộ diện tích tự nhiên và dân số của 4 thị trấn: Cầu Giấy, Nghĩa Đô, Nghĩa Tân, Mai Dịch và 3 xã: Dịch Vọng, Yên Hòa, Trung Hòa thuộc huyện Từ Liêm.