A fluidized bed reactor and a Siemens reactor are used to produce polycrystalline silicon. The process includes feeding the vent gas from the Siemens reactor as a feed gas to the fluidized bed reactor.
유동상 반응기 및 지멘스 반응기를 사용하여 다결정질 규소를 제조한다. 상기 방법은 지멘스 반응기로부터의 배기 가스를 공급 가스로서 상기 유동상 반응기에 공급하는 단계를 포함한다.