A method for generating supply pattern data of an imprint material formed by using a mold is provided. The method includes obtaining, for each of a plurality of different cleaning methods, information concerning of a shape change in a pattern portion of the mold caused by cleaning the pattern portion of the mold. The method further includes generating, based on the obtained information concerning of the shape change corresponding to the cleaning method, the supply pattern data corresponding to the number of cleaning operations.
몰드를 사용하여 형성되는 임프린트재의 공급 패턴 데이터를 생성하는 방법이 제공된다. 이 방법은 몰드의 패턴부를 클리닝하여 발생되는 몰드의 패턴부의 형상 변화에 관한 정보를, 상이한 복수의 클리닝 방법 각각에 대해 취득하는 단계를 포함한다. 이 방법은 클리닝 방법에 대응하는 형상 변화에 관해 취득된 정보에 기초하여, 클리닝 동작의 횟수에 대응하는 공급 패턴 데이터를 생성하는 단계를 추가로 포함한다.