In a method of operating a microwave plasma abatement apparatus comprising a microwave generator, and a gas chamber for receiving microwave energy from the microwave generator and within which a plasma is generated using the microwave energy, the amount of microwave energy that is not absorbed within the gas chamber is monitored, and the power of the microwave energy generated by the microwave generator is adjusted in dependence on the monitored microwave energy.
마이크로파 생성기와, 마이크로파 생성기로부터 마이크로파 에너지를 수신하고 마이크로파 에너지를 이용하여 플라스마가 내부에서 생성되는 가스 챔버를 포함하는 마이크로파 플라스마 감쇠 장치를 작동하는 방법에 있어서, 가스 챔버 내에서 흡수되지 않은 마이크로파 에너지의 양은 감시되고, 그리고 마이크로파 생성기에 의해 생성되는 마이크로파 에너지의 전력은 감시된 마이크로파 에너지에 의존하여 조절된다.