A probe card assembly can comprise a support structure to which a plurality of probes can be directly or indirectly attached. The probes can be disposed to contact an electronic device to be tested. The probe card assembly can further comprise actuators, which can be configured to change selectively an attitude of the support structure with respect to a reference structure. The probe card assembly can also comprise a plurality of lockable compliant structures. While unlocked, the lockable compliant structures can allow the support structure to move with respect to the reference structure. While locked, however, the compliant structures can provide mechanical resistance to movement of the support structure with respect to the reference structure.
프로브 카드 어셈블리는 복수 개의 프로브가 직간접적으로 부착될 수 있는 지지 구조를 포함할 수 있다. 프로브는 시험 될 전자 장치와 접촉하도록 배치 가능하다. 프로브 카드 어셈블리는 기준 구조에 대해서 지지 구조의 애티튜드를 선별적으로 변경하도록 구성 가능한 액튜에이터를 더 포함할 수 있다. 프로브 카드 어셈블리는 또한 복수 개의 로커블 컴플라이언트 구조를 포함할 수 있다. 언로크되는 동안 로커블 컴플라이언트 구조는 지지 구조로 하여금 기준 구조에 대해서 이동 가능하게 한다. 그러나 로크되는 동안 컴플라이언트 구조는 기준 구조에 대해서 기계적인 저항을 지지 구조의 이동에 제공할 수가 있다.