Disclosed is a method for determining the focal position of a laser beam, according to which a plurality of linear patterns are first created on the surface of a sample substrate by the laser beam, the distance between the laser and the substrate surface being gradually modified. The width of the individual lines is then measured and the line having the smallest width is determined. The vertical setting associated with the smallest line width is evaluated and stored as the focal setting of the machine.
본 발명은, 레이저 빔의 초점 위치를 결정하기 위한 방법을 개시하며, 상기 방법에서 먼저 선형 패턴(L1 내지 L9)이 견본 기판(5)에 레이저 빔(4)에 의해 생성되며, 레이저와 견본 기판 사이의 거리가 점차적으로 수정된다. 그 다음, 각각의 선(L)의 너비가 측정되고 가장 작은 너비(b5)를 갖는 선(L5)이 결정된다. 가장 작은 선 너비에 관련된 수직 세팅(Z5)이 계산되고 기계의 초점 세팅으로 저장된다.