An object of the present invention is to provide an oligosilane production method with which a target oligosilane can be selectively produced. Oligosilanes can be efficiently produced at an improved selectivity for a target oligosilane by using, as a raw material, not only monosilane but also an oligosilane with a smaller number of silicon atoms than the target oligosilane or conversely an oligosilane with a larger number of silicon atoms than the target oligosilane.
목적으로 하는 올리고실란을 선택적으로 제조할 수 있는 올리고실란의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 모노실란 뿐만 아니라, 목적으로 하는 올리고실란에 대해서 규소원자수가 적은 올리고실란이나 반대로 규소원자수가 많은 올리고실란을 원료로서 이용함으로써 목적으로 하는 올리고실란의 선택률을 향상시켜서 올리고실란을 효율 좋게 제조할 수 있다.