The invention relates to a method for cleaning a vacuum pump, in particular a Holweck pump, wherein the rotor element to be cleaned is vibrated. This occurs by actuating an electromagnet (38) using a control device (40), wherein the electromagnet (38) is in particular an electromagnet of a magnetic bearing (16) which bears the rotor shaft (12) in a housing (10).
본 발명은 진공 펌프, 특히 홀웩 펌프를 세정하기 위한 방법에 관한 것이며, 여기서 세정될 회전자 요소는 진동된다. 이것은 제어 장치(40)를 사용하여 전자석(38)을 구동시킴으로써 일어나며, 여기서 전자석(38)은 특히 하우징(10) 내에서 회전자 샤프트(12)를 지탱하는 자기식 베어링(16)의 전자석이다.