Disclosed is a method for obtaining a training data set comprising synthetic metrology data, said training data set being configured for training of a model relating to a manufacturing process for manufacturing an integrated circuit. The method comprises obtaining behavioral property data describing a behavior of a process parameter resultant from the manufacturing process and/or a related tool or effect. Additionally, or alternatively metrology data performed on a structure formed by said manufacturing process and/or a similar manufacturing process may be obtained. Using said behavioral property data and/or metrology data, synthetic metrology data is determined, which describes the effect of variations in said manufacturing process, and/or a related tool or effect on said process parameter. The model is trained using the training data set comprising said synthetic metrology data.
합성 계측 데이터를 포함하는 트레이닝 데이터 세트를 획득하기 위한 방법이 제공되며, 트레이닝 데이터 세트는 집적 회로를 제조하기 위한 제조 프로세스와 관련된 모델의 트레이닝을 위해 구성된 것이다. 이러한 방법은 제조 프로세스 및/또는 관련 툴 또는 영향으로부터 기인하는 프로세스 파라미터의 거동을 기술하는 거동 특성 데이터를 획득하는 단계를 포함한다. 추가적으로 또는 대안적으로 이러한 제조 프로세스 및/또는 유사한 제조 프로세스에 의해 형성된 구조체 상에서 수행되는 계측 데이터가 획득될 수도 있다. 거동 특성 데이터 및/또는 계측 데이터를 이용하여, 제조 프로세스 및/또는 관련 툴 또는 영향에 있어서의 변동이 프로세스 파라미터에 대해 미치는 영향을 기술하는 합성 계측 데이터가 결정된다. 모델은 합성 계측 데이터를 포함하는 트레이닝 데이터 세트를 사용하여 트레이닝된다.