A method of generating and processing a uniform high density plasma sheet (24). The method comprising generating a plasma within a chamber (2) using plasma source (3); and within the same chamber containing and shaping the plasma using magnetic and/ or electrostatic fields. The plasma is propagated as a uniform high density sheet within the chamber.
균일한 고밀도 플라즈마 시트(24)를 생성하고 처리하는 방법. 이러한 방법은, 플라즈마 소스(3)를 사용하여 챔버(2) 내에서 플라즈마를 생성하는 단계; 및 동일한 챔버 내에서, 자기장 및/또는 정전기장을 사용하여 플라스마를 보유하고 성형하는 단계를 포함한다. 플라즈마는 챔버 내에서 균일한 고밀도 시트로서 전파된다.