There are provided a method for chemical analysis and an apparatus for chemical analysis. The method for chemical analysis includes: dosing a targeted sample with ionizing gas; irradiating ion beams on the targeted sample; and analyzing the mass of fragment ions and molecular ions sputtered from the targeted sample by the collisional impact of the ion beams . The apparatus for chemical analysis includes: an ionizing gas doser that adds ionizing gas onto a targeted sample disposed in a vacuum chamber; an ion beam source that generates ion beams and irradiates them onto the targeted sample; and a mass spectrometer that analyzes the mass of fragment ions and molecular ions sputtered from the targeted sample by the collisional impact of the ion beams.
본 발명은 화학성분 분석 방법 및 화학성분 분석 장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 화학성분 분석 방법은 대상 시료에 이온화 기체를 분사하는 단계; 상기 대상 시료에 이온 빔을 충돌시키는 단계; 및 상기 이온 빔의 충돌에 의해 상기 대상 시료에서 방출되는 토막 이온 및 분자 이온의 질량을 분석하는 단계;를 포함하고, 본 발명에 따른 화학성분 분석 장치는 진공 챔버에 배치된 대상 시료에 이온화 기체를 분사하는 이온화 기체 분사기; 상기 대상 시료에 이온 빔을 출동시키는 이온 빔 발생기; 및 상기 이온 빔의 출동에 의하여 상기 대상 시료에서 방출되는 토막 이온 및 분자 이온의 질량을 분석하는 질량 분석기;를 포함한다.