Methods of determining a material optical property for optical metrology of a structure is described. One method includes simulating a set of diffraction orders for a grating structure based on two or more azimuth angles and on one or more angles of incidence. A simulated spectrum is provided based on the set of diffraction orders. Another method includes simulating a set of diffraction orders for a grating structure based on two or more angles of incidence. A simulated spectrum is provided based on the set of diffraction orders.
구조의 광계측을 위한 재료의 광학 특성을 결정하는 방법에 대해 기재한다. 한 방법은 2개의 방위각과 1개의 입사각에 기초하여 격자 구조에 대한 일련의 회절 차수를 시뮬레이션하는 단계를 포함한다. 그 일련의 회절 차수에 기초하여 시뮬레이션 스펙트럼이 제공된다. 다른 방법은 2개 이상의 입사각에 기초하여 격자 구조에 대한 일련의 회절 차수를 시뮬레이션하는 단계를 포함한다. 그 일련의 회절 차수에 기초하여 시뮬레이션 스펙트럼이 제공된다.