A method for deposition of a thin film onto a substrate is provided. The method includes providing a source precursor containing on or more of elements constituting the thin film, generating a transient species from the source precursor, and depositing a thin film onto the substrate from the transient species. The transient species being a reactive intermediate that has a limited lifetime in a condensed phase at or above room temperature.
기판 상에 박막을 증착하는 방법이 제공된다. 상기 방법은 박막을 구성하는 하나 이상의 원소를 포함하는 원료 전구체를 제공하는 단계, 상기 원료 전구체로부터 천이 종을 생성하는 단계, 및 상기 천이 종으로부터의 박막을 기판 상에 증착하는 단계를 포함한다. 천이 종은 상온 또는 상온 초과에서 응축된 상으로 제한된 수명을 가지는 반응성 중간체이다.