A low-pressure processing vessel (3) used for the production of semiconductors is provided with a light-sensitive detector (1) at a distance from the reaction site, for example in the exhaust line (2). The detector (1) is used to detect light emitted by an intermediate which relaxes or recombines with the emission of light at a characteristic wavelength, the intermediate having a long lifetime such that the detector (1) can be positioned in a relatively remote location.
반도체를 제조하는데 사용되는 저압 프로세싱 용기(3)에는 반응 지점으로부터 거리를 둔, 예를 들어 배기 라인(2)에 광-감지 검출기(1)가 장착된다. 검출기(1)는 특정 파장에서의 방출 광을 완화 또는 방출광과 재결합하는 중간 생성물에 의해 방출되는 광을 검출하는데 사용되며, 중간생성물은 검출기(1)가 상대적으로 먼 위치에 위치될 수 있도록 긴 수명을 갖는다.