A vacuum pumping apparatus is presented having a Peltier element based device to provide a dual role of cooling for bearings/drive-motor and heating for sections prone to depositing reaction products. A housing (7) having the bearing and motor sections is provided with a Peltier element based device (20) to absorb the waste heat generated in the bearings and the drive motor, and transfer the waste heat to another section (17) of the apparatus to be released. The released heat may be used to heat that section of the device to facilitate vacuum processing, wherein reaction products are prone to sublime and deposit.
펠티어소자계 디바이스를 갖는 진공펌핑장치는, 베어링/구동모터를 냉각시키고 반응생성물이 퇴적시키기 쉬운 섹션들을 가열하는 이중 역할을 제공한다. 베어링섹션 및 모터섹션을 구비한 하우징은 펠티어소자계 디바이스를 구비하여, 베어링섹션 및 모터섹션에서 발생된 폐열을 흡수하고, 이 폐열을 장치의 다른 섹션으로 전달하여 방출시킨다. 이 방출열은 반응생성물이 승화 및 퇴적되기 쉬운 장치의 섹션을 가열하는데 이용되어 진공처리를 용이하게 한다.