Because an electromagnetic chuck (20) supplies current to a specific microcoil among a plurality of microcoils (MC) and makes an object (M) exert an electromagnetic force working together with a magnet of the object (M), the object (M) can be held in a state where the object is set at a desired position (a position that corresponds to the microcoil to which current has been supplied) on a base surface. Further, by gas that blows out from a gas supply passage (42), a levitation force is given to the object (M), which can reduce effects of a friction force that acts between the object (M) and an upper surface of the electromagnetic chuck when the position of the object is set.
전자 척 (20) 이 복수의 마이크로 코일 (MC) 중의 특정한 마이크로 코일에 전류를 공급하고, 물체 (M) 의 자석과 협동하여 물체 (M) 에 전자력을 작용시키므로, 물체 (M) 를 베이스면 위의 소정의 위치 (전류를 공급한 마이크로 코일에 대응하는 위치) 에 위치 결정한 상태에서 유지할 수 있다. 또한, 기체 공급로 (42) 로부터 분출되는 기체에 의해, 물체 (M) 에 대하여 부상력이 부여되므로, 물체 (M) 를 위치 결정할 때에 물체 (M) 와 전자 척 상면 사이에 작용하는 마찰력의 영향을 저감시킬 수 있다.