A slurry that polishes surfaces or substrates which includes cobalt. The slurry further comprises an anionic and/or cationic surfactant, each of which has a phosphate group, a long chain alkyl group, or both. The slurry also includes a corrosion inhibitor, abrasives, removal rate enhancers, solvents, pH adjustors, and chelating agents. The pH of the slurry is preferably 8 or higher.
코발트를 포함하는 표면 또는 기재를 연마하는 슬러리. 상기 슬러리는 음이온성 및/또는 양이온성 계면활성제를 추가로 포함하며, 이들 각각은 포스페이트 기, 장쇄 알킬 기 또는 이들 둘 다를 갖는다. 상기 슬러리는 또한 부식 억제제, 연마제, 제거율 증강제, 용매, pH 조절제, 및 킬레이트제를 포함한다. 상기 슬러리의 pH는 바람직하게는 8 이상이다.