A lithographic apparatus can include a stationary frame having a first electrical conductor, and a support structure configured to support an object. The support structure is movably coupled to the frame and has a second electrical conductor. The lithographic apparatus can also include a conductive fluid that electrically couples the first electrical conductor to the second electrical conductor.
리소그래피 장치는 제1 전기 전도체를 갖는 정지 프레임 및 대상물을 지지하도록 구성된 지지 구조체를 포함할 수 있다. 지지 구조체는 프레임에 이동 가능하게 결합되고 제2 전기 전도체를 갖는다. 또한, 리소그래피 장치는 제1 전기 전도체를 제 2 전기 전도체에 전기적으로 결합시키는 전도성 유체를 포함할 수 있다.