An assembly of two or more microelectronic parts, wherein electrical and/or thermal interconnection between the parts is achieved by means of multiple, discrete, conductive nanoscopic fibrils (15) or tubules (15) fixed within the pores of an insulating film (16). Such a film is said to have anisotropic electrical conductivity, i.e., Z-axis conductivity, with little or no conductivity in the other directions.
부품들간의 전기적 또는 열적 상호 접속이 절연막(16)의 기공들내에 고정된 다수의 별개의 전도성 나노범위의 피브릴(15) 또는 튜블(15) (fibrils or tubules)에 의해 달성되는 2개 이상의 마이크로전자 부품의 어셈블리. 이러한 막은 비등방적 전기 전도성, 즉, 다른 방향의 전도성은 거의 없거나 없는 Z-축 전도성을 갖는다.