An inspection device according to an embodiment can conduct high temperature inspection and low temperature inspection on an object to be inspected. The inspection device includes an inspection chamber in which inspection is conducted on the object; a dry air supply section that is connected to the inspection chamber via a first valve and that is configured to supply dry air into the inspection chamber; a dew point meter that is connected to the inspection chamber via a second valve and that is configured to measure a dew point in the inspection chamber; and a bypass pipe connecting the dry air supply section and the dew point meter via a third valve.
일 실시예에 따른 검사 장치는 검사 대상물의 고온 검사 및 저온 검사를 수행할 수 있다. 검사 장치는 대상물에 대해 검사가 수행되는 검사 챔버; 상기 검사챔버와 제1밸브를 통해 연결되며, 상기 검사챔버 내부로 건조공기를 공급하는 건조공기 공급부; 상기 검사챔버와 제2밸브를 통해 연결되며, 상기 검사챔버의 이슬점을 측정하는 노점계; 및 제3 밸브를 통해 건조 공기 공급부와 노점계를 연결하는 바이패스 파이프를 포함한다.