Embodiments described herein relate to a protective coating that protects an underlying chamber component from corrosion or deterioration within a corrosive environment. The chamber component has a surface comprising a ceramic material. A coating disposed on the surface comprises magnesium oxide, lanthanum oxide, or lanthanum fluoride.
본원에서 설명되는 실시예들은, 부식성 환경 내에서 부식 또는 열화로부터, 아래 놓인 챔버 컴포넌트를 보호하는 보호 코팅에 관한 것이다. 챔버 컴포넌트는 세라믹 재료를 포함하는 표면을 갖는다. 표면 상에 배치된 코팅은 마그네슘 산화물, 란탄 산화물, 또는 란탄 플루오르화물을 포함한다.