Metal complexes containing one or more amidoimine ligands, methods of making such metal complexes, and methods of using such metal complexes to prepare metal-containing films are provided.
본 발명은 하나 이상의 아미도이민 리간드를 포함하는 금속 착물, 이러한 금속 착물의 제조 방법, 및 이러한 금속 착물을 사용하여 금속-함유 필름을 제조하는 방법에 관한 것이다.