To detect a wafer highly precisely while reducing a cost of a device. A transport device according to the embodiment, is a transport device that conveys a wafer, and comprises: holding means of holding a wafer; a temperature sensor that is arranged at a neighborhood of a position to which the wafer in the holding means is held; and processing means for determining the presence/absence of the wafer on the holding means on the basis of a temperature detected by the temperature sensor. A semiconductor manufacturing apparatus according to the embodiment, comprises: a processing device for performing a heating processing to the wafer; and a transport device for conveying the wafer to be heat processed in the processing device.
장치의 저비용화를 도모하면서, 웨이퍼를 정밀하게 검출한다. 본 실시 형태에 따른 이송 장치는 웨이퍼를 이송하는 이송 장치로서, 웨이퍼를 지지하는 지지 수단과 지지 수단의 웨이퍼가 지지되는 위치의 부근에 배치되는 온도 센서와 온도 센서에 의해 검출되는 온도에 기초하여 유지 수단상의 웨이퍼 유무를 판단하는 처리 수단를 구비한다. 또한 본 실시 형태에 따른 반도체 제조 장치는 웨이퍼에 열처리를 하는 프로세스 장치와 프로세스 장치로 열처리가 이루어진 웨이퍼의 이송을 하는 이송 장치를 구비한다.