In this X-ray inspecting device, an X-ray irradiating unit 40 includes: a first X-ray optical element 42 which condenses characteristic X-rays in a longitudinal direction; and a second X-ray optical element 43 which condenses the characteristic X-rays in a lateral direction. The first X-ray optical element 42 is configured from a crystalline material having high crystallinity. Further, the secondX-ray optical element is configured from a multilayer film mirror.
본 발명의 X선 검사 장치는, X선 조사 유닛(40)이, 특성 X선을 세로 방향으로 집광하는 제1 X선 광학 소자(42)와, 특성 X선을 가로 방향으로 집광하는 제2 X선 광학 소자(43)를 포함한다. 제1 X선 광학 소자(42)는, 높은 결정성을 가지는 결정 재료로 구성되어 있다. 또, 제2 X선 광학 소자(43)는, 다층막 미러로 구성되어 있다.