A method for manufacturing a solar cell provided with an upper electrode which functions as an electrode for extracting electric power at a light incidence side of the solar cell and includes a ZnO-based transparent conductive film, the method comprising: forming the upper electrode by sputtering a target on which a formation material of the transparent conductive film is provided while applying sputtering voltage of 340V or less and generating a horizontal magnetic field on a target surface.
본 발명의 태양전지의 제조 방법은, 광입사측의 전력 취출 전극으로서 기능하는 상부 전극이 ZnO를 기본 구성 원소로 하는 투명 도전막으로 이루어진 태양전지의 제조 방법으로서, 상기 투명 도전막의 형성 재료를 구비한 타겟에 340V 이하의 스퍼터링 전압을 인가하면서 상기 타겟의 표면에 수평 자장을 발생시켜 스퍼터링함으로써 상기 상부 전극을 형성하는 공정을 구비한다.