Disclosed is a transfer vehicle system (1) which is provided with a transfer vehicle (3), a CW sensor (57), and a manufacture controller (21). The transfer vehicle (3) transfers, among a plurality of apparatuses, carriers (49) that respectively have substrates (50) therein. The CW sensor (57) detects the states of the substrates (50) in the carriers (49). The manufacture controller (21) controls the transfer performed by the transfer vehicle (3), and when an abnormality signal is inputted from the CW sensor (57), the manufacture controller makes the transfer vehicle (3) stop transferring the carriers (49).
본 발명의 반송차 시스템(1)은, 반송차(3)와, CW 센서(57)와, 제조 컨트롤러(21)를 구비하고 있다. 반송차(3)는 복수의 장치 사이에서 기판(50)이 든 캐리어(49)를 반송한다. CW 센서(57)는 캐리어(49) 내의 기판(50)의 상태를 검출한다. 제조 컨트롤러(21)는 반송차(3)의 반송을 제어하는 동시에, CW 센서(57)로부터 이상신호가 입력되면, 반송차(3)에 의한 캐리어(49)의 반송을 중지시킨다.