Techniques for removing interferometry signal phase variations caused by distortion and other effects in a multi-layer stack include: providing an electronic processor sample interferometry data acquired for the stack using a low coherence imaging interferometry system; transforming, by the electronic processor, the sample interferometry data to a frequency domain; identifying a non-linear phase variation from the sample interferometry data in the frequency domain, in which the non-linear phase variation is a result of dispersion introduced into a measurement beam by the test sample; and removing the non-linear phase variation from the sample interferometry data thereby producing compensated interferometry data.
다층 스택에서 왜곡 및 다른 효과로 인한 간섭 측정 신호 위상 변화를 제거하는 기술은 저 간섭성 이미징 간섭 측정 시스템을 사용하여 스택에 대해 획득된 전자 프로세서 샘플 간섭 측정 데이터를 제공하는 단계; 전자 프로세서에 의해, 샘플 간섭 측정 데이터를 주파수 도메인으로 변환하는 단계; 주파수 도메인에서의 샘플 간섭 측정 데이터로부터 비선형 위상 변화를 식별하는 단계 ― 비선형 위상 변화는 테스트 샘플에 의해 측정 빔에 도입된 분산의 결과임 ―; 및 샘플 간섭 측정 데이터로부터 비선형 위상 변화를 제거함으로써 보상된 간섭 측정 데이터를 생성하는 단계를 포함한다.