An example test system includes a test head and a probe card assembly connected to the test head. The probe card assembly includes: a probe card having electrical contacts, a stiffener connected to the probe card to impart rigidity to the probe card, and a heater to heat to at least part of the probe card assembly. A prober is configured to move a device under test (DUT) into contact with the electrical contacts of the probe card assembly.
하나의 예시적인 테스트 시스템이 테스트 헤드와 이 테스트 헤드에 연결된 프로브 카드 어셈블리를 포함하고 있다. 상기 프로브 카드 어셈블리는 전기 접속부를 가진 프로브 카드, 상기 프로브 카드에 강성을 부여하기 위해 상기 프로브 카드에 연결된 스티프너, 그리고 상기 프로브 카드 어셈블리의 적어도 일부분을 가열하는 가열기를 포함하고 있다. 프로버는 피시험 장치(DUT)를 상기 프로브 카드 어셈블리의 전기 접속부와 접촉되게 이동시키도록 구성되어 있다.