Described are boron-doped amorphous carbon hard masks, methods of preparing boron-doped amorphous carbon hard masks, methods of using the boron-doped amorphous carbon hard masks, and devices that include the boron-doped amorphous carbon hard masks.
붕소-도핑된 비정질 탄소 하드 마스크, 상기 붕소-도핑된 비정질 탄소 하드 마스크의 제조 방법, 상기 붕소-도핑된 비정질 탄소 하드 마스크의 사용 방법 및 상기 붕소-도핑된 비정질 탄소 하드 마스크를 포함하는 장치가 기술된다.