Methods are provided for manufacturing well-controlled, solid-state nanopores in close proximity and arrays thereof. In one embodiment, a plurality of wells and one or more channels are formed in a substrate. Each of the wells is adjacent a channel. A portion of a sidewall of each well is exposed. The portion of exposed sidewall is nearest to the adjacent channel. The portion of the exposed sidewall of each well is laterally etched towards the adjacent channel. A nanopore is formed connecting the wells to an adjacent channel.
매우 근접하게 있는 양호하게 제어된 고체 상태 나노포어들 및 그러한 나노포어들의 어레이들을 제조하기 위한 방법들이 제공된다. 일 실시예에서, 복수의 웰들 및 하나 이상의 채널이 기판에 형성된다. 웰들 각각은 채널에 인접해 있다. 각각의 웰의 측벽의 부분이 노출된다. 노출된 측벽의 부분은 인접한 채널에 가장 가깝다. 각각의 웰의 노출된 측벽의 부분은 인접한 채널을 향해 측방향으로 식각된다. 웰들을 인접한 채널에 연결하는 나노포어가 형성된다.