A method of manufacturing at least one component in at least one component area on a substrate using a machine that has a substrate processing part relatively moveable with respect to the substrate. The method includes, at least when the substrate processing part and substrate are in a positional relationship in which the substrate processing part can process the at least one component area on said substrate, measuring the position of the substrate processing part relative to the substrate, by reading at least a first metro logical scale provided by the substrate.
기판에 대하여 상대적으로 이동 가능한 기판 처리부를 갖는 기계를 이용하여 기판 상의 적어도 하나의 컴포넌트 영역에서 적어도 하나의 컴포넌트를 제조하는 방법이 제공된다. 본 방법은, 적어도, 기판 처리부와 기판이, 기판 처리부가 상기 기판 상에 적어도 하나의 컴포넌트 영역을 처리할 수 있는 위치 관계에 있을 때, 적어도 기판에 의해 제공된 제1 계측 스케일을 판독함으로써 기판에 대한 기판 처리부의 위치를 측정하는 단계를 포함한다.