Improved laser systems and associated techniques generate an ultra-violet (UV) wavelength of approximately 193.368 nm from a fundamental vacuum wavelength near 1064 nm. Preferred embodiments separate out an unconsumed portion of an input wavelength to at least one stage and redirect that unconsumed portion for use in another stage. The improved laser systems and associated techniques result in less expensive, longer life lasers than those currently being used in the industry. These laser systems can be constructed with readily-available, relatively inexpensive components.
개선된 레이저 시스템들 및 이와 관련된 기술들은 1,064nm에 가까운 기본 진공 파장으로부터 대략 193.368nm의 자외선 (UV) 파장을 발생시킨다. 바람직한 실시예들은 입력 파장의 소비되지 않은 부분을 적어도 하나의 단계로 분리해 내어 다른 단계에서의 사용을 위하여 그 소비되지 않은 부분의 진행 방향을 바꾼다. 개선된 레이저 시스템들 및 이와 관련된 기술들은 그 결과 레이저들을 현재 산업계에서 사용되고 있는 것들 보다 더 싸고 수명이 더 길게 한다. 이들 레이저 시스템들은 쉽게 이용할 수 있고 비교적 값이 싼 컴포넌트들로 구축될 수 있다.