An energy storage device is provided in which a discharge capacity can be high and/or in which degradation of an electrode due to repetitive charge and discharge can be reduced. An electrode of the energy storage device which includes a crystalline silicon layer serving as an active material layer is provided. The crystalline silicon layer includes a crystalline silicon region and a whisker-like crystalline silicon region having a plurality of protrusions projected upward from the crystalline silicon region. The protrusions include a first protrusion and a second protrusion; the second protrusion has a larger length along the axis and a sharper tip than the first protrusion.
방전 용량이 높을 수 있고 및/또는 반복적인 충방전으로 인한 전극의 열화를 감소시킬 수 있는 에너지 저장 장치가 제공된다. 활물질층으로 작용하는 결정질 실리콘층을 포함하는 에너지 저장 장치의 전극이 제공된다. 결정질 실리콘층은 결정질 실리콘 영역과 결정질 실리콘 영역으로부터 위쪽으로 돌출된 복수의 돌출부를 갖는 위스커형 결정질 실리콘 영역을 포함한다. 돌출부는 제1 돌출부 및 제2 돌출부를 포함하고; 두 번째 돌출부는 첫 번째 돌출부보다 축을 따라 더 긴 길이와 더 날카로운 팁을 가지고 있다.