A system and method for providing a vapor are described. In one variation, liquid is placed in a containment vessel, and a pressure in the containment vessel is reduced below atmospheric pressure. The pressure in the vessel is monitored and the liquid is heated in response to the sensed pressure falling below a desired level. When needed, the vapor is delivered from the liquid containment vessel to the external system.
증기를 제공하기 위한 시스템 및 방법이 기술된다. 하나의 변형예에서, 액체가 격납 용기에 위치되고, 격납 용기의 압력은 대기압 아래로 감압된다. 용기의 압력은 모니터링되고 액체는 소망 레벨 아래로 떨어지는 감지된 압력에 응답하여 가열된다. 필요한 경우, 증기는 액체 격납 용기로부터 외부 시스템으로 방출된다.