A method for fabricating a solar cell is described. The method includes first providing, in a process chamber, a substrate having a light-receiving surface. An anti- reflective coating (ARC) layer is then formed, in the process chamber, above the light- receiving surface of the substrate. Finally, without removing the substrate from the process chamber, a protection layer is formed above the ARC layer.
태양 전지를 제조하기 위한 방법이 기술된다. 본 방법은 우선 공정 챔버 내에 수광 표면을 갖는 기판을 제공하는 것을 포함한다. 그 다음에 공정 챔버 내에서 기판의 수광 표면 위에 반사방지 코팅(anti-reflective coating; ARC) 층이 형성된다. 마지막으로, 공정 챔버로부터 기판을 제거하지 않고, ARC 층 위에 보호층이 형성된다.