A highly versatile data processing is implemented on data collected in a manufacturing process. A data processing device includes: a calculation part configured to collect a plurality of data groups associated with a predetermined step of a process, and calculate effects in the predetermined step for each of the plurality of data groups; a dividing part configured to divide a feature space such that a distribution of each of the plurality of data groups associated with the predetermined step in the feature space is classified for each of the calculated effects; and an output part configured to output specific data that specifies respective regions of the divided feature space.
제조 프로세스에서 수집된 데이터에 대하여, 범용성이 높은 데이터 처리를 실현한다. 데이터 처리 장치는, 프로세스 내의 소정의 스텝과 대응지어진 데이터 군을 수집하고, 각각의 데이터 군에 대해서 해당 소정의 스텝에서의 효과를 산출하는 산출 수단과, 상기 소정의 스텝과 대응지어진 복수의 데이터 군 각각의 특징 공간에서의 분포가, 산출된 상기 효과별로 분류되도록 해당 특징 공간을 분할하는 분할 수단과, 분할한 상기 특징 공간의 각 영역을 특정하는 특정 데이터를 출력하는 출력 수단을 갖는다.