A method is described for measuring a moving property of a target. The method includes: forming a remaining plasma that at least partially coincides with an extended target region, the remaining plasma being a plasma formed from an interaction between a prior target and a prior radiation pulse in a target space; releasing a current target along a trajectory toward the target space that is at leastpartly overlapping the extended target region; determining one or more moving properties of the current target when the current target is within the extended target region and after a prior and adjacent target has interacted with a prior radiation pulse in the target space; and if any of the determined one or more moving properties of the current target are outside an acceptable range, then adjusting one or more characteristics of a radiation pulse directed toward the target space.
타겟의 이동 특성을 측정하기 위한 방법이 개시되어 있다. 이 방법은 확장된 타겟 영역과 적어도 부분적으로 일치하는 잔존 플라즈마를 형성하는 단계 - 상기 잔존 플라즈마는 타겟 공간 내에서 선행 타겟과 선행 방사선 펄스 사이의 상호작용으로부터 형성되는 플라즈마임 -; 상기 확장된 타겟 영역과 적어도 부분적으로 중첩되는 상기 타겟 공간을 향해 궤적을 따라 현재 타겟을 방출하는 단계; 상기 현재 타겟이 상기 확장된 타겟 영역 내에 있을 때 및 선행 인접 타겟이 상기 타겟 공간 내에서 선행 방사선 펄스와 상호작용한 후에 상기 현재 타겟의 하나 이상의 이동 특성을 결정하는 단계; 및 상기 현재 타겟의 결정된 하나 이상의 이동 특성이 허용가능한 범위를 벗어나는 경우, 상기 타겟 공간을 향해 지향되는 방사선 펄스의 하나 이상의 특성을 조정하는 단계를 포함한다.