A combined pumping system (10) comprises a getter pump (12) and an ion pump (13). The getter and ion pumps (12, 13) are mounted on a same flange (11) and are arranged on the same side of said flange (11) at two different points thereof.
게터 펌프(12) 및 이온 펌프(13)를 포함하는 조합형 펌핑 시스템(10)이 제공된다. 상기 게터 펌프 및 이온 펌프(12, 13)는 동일한 플랜지(11) 상에 장착되고 그리고 2개의 서로 상이한 지점에서 상기 플랜지(11)의 동일한 측면 상에 정렬된다.