A method used in forming at least a portion of at least one conductive capacitor electrode of a capacitor that comprises a pair of conductive capacitor electrodes having a capacitor insulator there-between comprises forming an insulative first material comprising an amorphous insulative metal oxide. The amorphous insulative metal oxide is reduced in a reducing-ambient to form a conductive second material from the insulative first material. Such reducing in the reducing-ambient both (a) removes oxygen from and changes the stoichiometry of the metal oxide, and (b) crystallizes the metal oxide into a crystalline state that is conductive.
커패시터 절연체를 사이에 갖는 전도성 커패시터 전극 쌍을 포함하는 커패시터의 적어도 하나의 전도성 커패시터 전극의 적어도 일 부분을 형성하는데 사용되는 방법은 비정질 절연성 금속 산화물을 포함하는 절연성 제1 물질을 형성하는 단계를 포함한다. 환원성 분위기에서 상기 비정질 절연성 금속 산화물이 환원되어 상기 절연성 제1 물질로부터 전도성 제2 물질이 형성된다. 상기 환원성 분위기에서의 그러한 환원은 (a) 상기 금속 산화물로부터 산소를 제거하고 상기 금속 산화물의 화학량론을 변경하고, (b) 상기 금속 산화물을 전도성인 결정 상태로 결정화시킨다.