A probe device(10) has an insert ring(14) and a base card holder(13) that match a pogo ring(15) and probe card(17) for plural kinds of testers. The base card holder (13) is formed to have a larger diameter than a card holder(20) for the probe card(17). A conversion ring(16) links the connection between the card holder(20) and the base card holder(13).
본 발명의 실시형태의 프로브 장치(10)는, 복수종의 테스터용의 포고링(15) 및 프로브 카드(17)에 대응한 인서트 링(14), 베이스 카드 홀더(13)를 구비한다. 베이스 카드 홀더(13)는, 프로브 카드(17)용의 카드 홀더(20)보다 큰 직경으로 형성된다. 변환링(16)은, 카드 홀더(20)와 베이스 카드 홀더(13)와의 접속을 중계한다. 