A substrate transfer container comprises a housing including a plurality of substrate slots positioned within a gas chamber having an interior environment. Each substrate slot accommodates a substrate undergoing a substrate manufacturing process, the interior environment of the gas chamber being selectively sealed from an exterior environment. A detection unit at the housing is constructed and arranged to detect an environmental property of the interior environment of the gas chamber, and to generate a detection signal in response. A signal transmission module at the housing is configured to wirelessly transmit a detection signal received from the detection unit.
기판 이송 용기는 내부 환경을 갖는 가스 챔버 내에 위치된 복수의 기판 슬롯을 포함하는 하우징을 포함한다. 각각의 기판 슬롯은 기판 제조 프로세스를 겪는 기판을 수용하고, 가스 챔버의 내부 환경은 외부 환경으로부터 선택적으로 밀봉된다. 하우징의 감지 유닛은 가스 챔버 내부 환경의 환경 속성을 감지하고 이에 응답하여 감지 신호를 생성하도록 구성 및 배치된다. 하우징의 신호 전송 모듈은 감지 유닛으로부터 수신된 감지 신호를 무선으로 전송하도록 구성된다.