An apparatus and method to fabricate an electronic device is disclosed. In a particular embodiment, an apparatus includes a template having an imprint surface. The imprint surface includes a first region having a first pattern adapted to fabricate a fin field effect transistor (FinFET) device and a second region having a second pattern adapted to fabricate a planar electronic device.
전자 디바이스를 제조하기 위한 장치 및 방법이 기재된다. 특정 실시 예에서, 장치는 임프린트 표면을 갖는 템플릿을 포함한다. 임프린트 표면은 핀 전계 효과 트랜지스터(FinFET) 디바이스를 제조하도록 적응되는 제 1 패턴을 갖는 제 1 영역 및 평면 전자 디바이스를 제조하도록 적응되는 제 2 패턴을 갖는 제 2 영역을 포함한다.