Combined illumination is used to detect the positions of features such as scribe lines in different layers of a workpiece (104, 454, 512, 604, 1506, 1520). Because combinations of layers of different material can scatter, reflect, scatter, and/or transmit light in different ways, combining and adjusting such illumination can allow positions of multiple features to be detected concurrently, such that the position of a feature being formed in one layer can be adjusted to a relative position with respect to a feature in another layer, even where those layers are of different materials with different optical properties.
소재(104, 454, 512, 604, 1506, 1520)의 상이한 층 내의 스크라이브 선(scribe lines)과 같은 피처의 위치를 탐지하기 위해 결합된 조명이 사용된다. 상이한 재료 층들의 결합은 상이한 방식으로 빛을 산란, 반사, 산란 및/또는 전달할 수 있기 때문에, 이러한 조명을 결합하고 조정하는 것은 복수의 피처들의 위치를 동시에 탐지되도록 할 수 있으며, 그에 따라 하나의 층에 형성된 피처의 위치는 다른 층의 피처에 대해, 이들 층이 상이한 광학 특성을 갖는 상이한 재료로 된 경우에도, 상대 위치로 조정될 수 있다. 