Example embodiments are directed to a scanning electron microscope. The scanning electron microscope includes an electron gun to configured irradiate an electron beam on a sample, and a disc of a transparent material and including a through-hole through which the electron beam passes. The disc includes a scintillator layer formed at a surface thereof so as to generate photons based on the secondary electrons received from the sample. A reflecting layer is formed at an inner peripheral surface of the through-hole so as to reflect the photons, thereby preventing leakage of the photons via the through-hole.
예시적인 실시예는 주사 전자 현미경에 관한 것이다. 주사형 전자현미경은 시료에 전자빔을 조사하는 전자총과, 전자빔이 통과하는 관통홀을 포함하는 투명한 재질의 디스크를 포함한다. 상기 디스크는 표면에 형성된 신틸레이터층을 포함하여 시료로부터 전달받은 2차 전자에 기초하여 광자를 발생시킨다. 상기 관통홀의 내주면에는 광자를 반사시키는 반사층이 형성되어 상기 관통홀을 통해 광자가 누출되는 것을 방지한다.