Embodiments described herein provide processing chambers that include an enclosure for a processing volume, a rotatable support within the enclosure, the support having a shaft that extends outside the enclosure, wherein the shaft has a signal feature located outside the processing volume, an energy module within the enclosure, wherein the shaft extends through the energy module, one or more directed energy sources coupled to the enclosure, and one or more signalers positioned proximate to the signal feature, each signaler coupled to at least one of the directed energy sources.
본원에 설명된 실시예들은 처리 챔버들을 제공하며, 처리 챔버들은 처리 용적을 위한 인클로저, 인클로저 내의 회전가능한 지지부 ― 지지부는 인클로저 외부로 연장되는 샤프트를 갖고, 샤프트는 처리 용적 외부에 위치된 신호 피쳐를 가짐 ―, 인클로저 내의 에너지 모듈 ― 샤프트는 에너지 모듈을 통해 연장됨 ―, 인클로저에 결합된 하나 이상의 방향성 에너지 공급원, 및 신호 피쳐에 근접하여 위치된 하나 이상의 신호기를 포함하고 각각의 신호기는 방향성 에너지 공급원들 중 적어도 하나에 결합된다.