Described herein are architectures, platforms and methods for determining endpoints of an optical emission spectroscopy (OES) data acquired from a plasma processing system. The OES data, for example,includes an absorption step process, a desorption step process, or a combination thereof. In this example, the OES data undergoes signal synchronization and transient signal filtering prior to endpoint determination, which may be implemented through an application of a moving average filter.
여기에는 플라즈마 공정 시스템으로부터 획득된 광 방출 분광(OES) 데이터의 종점을 결정하기 위한 아키텍처, 플랫폼 및 방법이 기재되어있다. 예를 들어, OES 데이터는 흡수 단계 공정, 탈착 단계 공정 또는 이들의 조합을 포함한다. 이 예에서, OES 데이터는 종점 결정 이전에 신호 동기화 및 과도 신호 필터링을 거치며, 이는 이동 평균 필터의 애플리케이션을 통해 구현될 수 있다.