A method of controlling carbonaceous contamination of the surface of a mirror coated with a metal layer comprises the steps of supplying to the mirror a source of carbon for forming carbonaceous deposits on the mirror surface, and a source of a reactant for reacting with the deposits either reductively or by incorporation of hetero-atoms other than oxygen to produce a volatile product, and exposing the mirror to extreme ultra violet (EUV) radiation to activate the reaction. Controlling to the partial pressure ratio of the carbon source and the reactant source can enable the level of contamination of the mirror surface to be actively controlled.
본 발명에서는, 거울 표면상에 탄소질 증착물의 형성을 위한 탄소 공급원 및 환원적으로 또는 산소 이외의 헤테로 원자(예를 들어, 질소 및/또는 할로겐)의 도입에 의해 상기 증착물과의 반응을 위한 반응물의 공급원을 거울에 공급하여 휘발성 생성물을 생성하는 단계; 및 상기 거울을 원자외선(EUV) 방사선에 노출시켜 반응을 활성화시키는 단계를 포함하는 금속층으로 코팅된 거울의 표면의 탄소질 오염을 조절하는 방법을 제공한다. 탄소 공급원과 반응물 공급원의 분압 비를 조절하여 거울 표면의 오염 수준이 능동적으로 조절될 수 있다.