A composition comprising a carbosilane polymer formed from at least one carbosilane monomer and at least one carbonyl contributing monomer. In some embodiments, the composition is suitable as gap filling and planarizing material, and may optionally include at least one chromophore for photolithography applications.
적어도 하나의 카보실레인 단량체 및 적어도 하나의 카보닐 기여 단량체로부터 형성된 카보실레인 중합체를 포함하는 조성물. 일부 실시양태들에서, 조성물은 갭 충전 및 평탄화 물질로서 적합하며, 선택적으로는 포토리소그래피 적용을 위한 적어도 하나의 발색단을 포함할 수 있다.