The present invention discloses a triphenylsulfonium salt compound as shown in the general formula (I), wherein R1 represents an electron-withdrawing group and R2 represents an amplification group. Said compound shows significantly enhanced solubility and photosensitivity compared with unsubstituted triphenylsulfonium salts, and has significantly advantageous performance compared with prior art improved substitutes.
본 발명은 일반식 (I)로 표시되는 구조를 갖는 트리페닐술포늄 염 화합물을 개시한다. 여기서, R1은 전자 흡인기를 나타내고, R2는 증폭기를 나타낸다. 상기 화합물은 비치환된 트리페닐술포늄 염에 비해 용해도와 감광활성이 현저히 향상되고, 종래의 개선형 대체재에 비해서도 성능이 명확히 월등하다.