kˈɑk ɪsxˈodnyj prʌdˈukt dɭʲɑ pʌɭutʃʲˈenʲija nʲitrʲˈida tʲitˈɑna mˌoʒyt bytʲ ɪspˈoɭzʌvʌn (en)tˈaɪ sˌiːˈɛl(ru) tʃʲɪtˈyrʲɪ ˈɪɭʲɪ pʌrʌʃˈok tʲitˈɑna, kʌtˈoryj pʌdaˈjut f struˈju pɭˈɑzmy ɡʲinʲirʲˈirujimuju ˌɛsvˌɛtʃʲˈepɭʌzmʌtrˈonʌm.
Как исходный продукт для получения нитрида титана может быть использован TiCl4 или порошок титана, который подают в струю плазмы генерируемую СВЧ-плазмотроном.