v mʲikrʌɛɭʲiktrˈonʲikʲi tˈɑɡʒy prʲimʲinʲˈɑjitsʌ ɛpʲitˈɑksʲija ʌksʲˈida aɭʲu"mʲˈinʲija, kʌtˈorʌja mnˈoɡʲimʲɪ utʃʲˈɵnymʲɪ ɕitˈɑjitsʌ pʲirspʲiktʲˈivnʌj, nʌprʲimʲˈer, v ɪzʌɭʲˈɑtsyɪ zatvˈorʌf pʌɭʲivˈyx tranʑˈistʌrʌf.
В микроэлектронике также применяется эпитаксия оксида алюминия, которая многими учёными считается перспективной, например, в изоляции затворов полевых транзисторов.