Carl Zeiss SMS Gmbh, een belangrijke leverancier voor van de photomaskmetrologie en reparatie hulpmiddelen en Synopsys, Inc. (Nasdaq: SNPS), kondigden een wereldleider in software en IP voor halfgeleiderontwerp, controle en productie, vandaag een samenwerking aan om de het hulpmiddelfamilie van ZEISS voor de oplossingen van de in-matrijzenmetrologie voor de knoop van de 32 nanometer (nm)technologie te steunen en hieronder.
Synopsys zal steun voor ZEISS' PROVE™, het de metrologiehulpmiddel van de volgende-generatieregistratie, door Synopsys' CATS™, de technologie-leidende de voorbereidingsoplossing van maskergegevens aanbieden. Het Gebruiken van KATTEN zoals de motor van de gegevensvoorbereiding, maskeringenieurs het gebruiken BLIJKT kan van betere efficiency en bruikbaarheid van een systeem van de registratiemetrologie profiteren dat aan de strenge vereisten van de bekledingsnauwkeurigheid voldoet.
De de gegevensvoorbereiding van het Masker door KATTEN zal verder de efficiency van PROVE versterken.
Sterk optisch nabijheidscorrectie en dubbel die die technieken vormen, worden vereist om 193 NM- lithografie tot de volgende technologieknopen uit te breiden, grotere de plaatsingsnauwkeurigheid van het photomaskpatroon eisen. Nieuw BLIJKT het systeem deze verhoogde eisen met zijn groundbreaking concept 193 van de verlichtingsNM optica ontmoet. Het levert een vermogen van de in-matrijzenmetrologie voor meting van de kleinste productieeigenschappen zonder registratietekens te plaatsen, toelatend maskermakers om registratie op kritieke gebieden op het masker te meten en te analyseren.
De nieuwe module van KATTEN, momenteel in beperkte klantenbeschikbaarheid en over het algemeen - beschikbaar in Maart 2011, laat een snelle, efficiënte en volledig geautomatiseerde stroom voor de opstelling van de banen van de photomaskmetrologie toe. Gebruikend de de industrie standaard open formaten geavanceerde OASIS.MASK en XML, merkend mogelijkheden en de PROVE tweedimensionale (2D) correlatiemethode, biedt de KATTEN een significante verhoging aan de conventionele regelingen van de beeldanalyse aan. De innovatieve die methode vergelijkt 2D ontwerpklemmen van het masker door KATTEN van beelden op het masker wordt voorzien door PROVE wordt gevangen, resulterend in hogere metingsnauwkeurigheid in vergelijking met standaarddiemethodes gebruikend 1D metingen op slechts randen worden gebaseerd.
"Met' de ervaring op lange termijn in van masker van Synopsys gegevens de voorbereiding en Carl Zeiss' bekwaamheid in in-matrijzenmetrologie, zal de nieuwe module van KATTEN met zijn opwindende mogelijkheden beduidend helpen om de fouten van de maskerregistratie op willekeurige productieeigenschappen te verminderen," zei Dr. Dirk Beyer, productmanager voor PROVE in Carl Zeiss SMS Gmbh.
De fouten van de Registratie kunnen nu voor elk masker zonder resolutiebeperkingen worden gekwantificeerd, die maskerfabrikanten een volledig nieuw hulpmiddel om plaatsingsfouten geven in dubbele het vormen en masker-aan-masker bekleding te verminderen.
Samenwerking "Synopsys de' met Carl Zeiss licht onze verplichting aan het aanbieden van uitvoerige lithografie, inspectie en metrologieoplossingen aan de Groep van de Techniek van het Silicium Synopsys van de masker verwerkende markt", bovengenoemde Fabio Angelillis, ondervoorzitter van techniek voor' toe. "Door KATTEN tot steun uit te breiden BEWIJS, leveren wij de metrologieoplossingen van betere kwaliteit aan onze klanten bij de knoop van de 32 nanometertechnologie en hieronder," hij voegde toe.