De diffractiegratings worden van de Transmissie vereist in vele onderzoek en ontwikkelingsprojecten zoals karakterisering van lichtbronnen EUV of de spectroscopieexperimenten in de waaier EUV.
Wegens hoge absorptie door alle materialen in dit spectrale gamma (ruwweg 5-20 NM) gratings moeten op dunne membranen worden gemaakt en de spleten zouden te verwaarlozen absorptie moeten hebben. Het Hebben van al lang bestaande ervaring in de vervaardiging van EUV transmissiegratings Eulitha biedt nu diepe geëtste gratings voor de spectroscopietoepassingen aan.
Het beeld van SEM van 1mm periodegrating in een membraan dat van het siliciumnitride wordt geëtst. De dwarsdoorsnede van dit grating wordt getoond in het bijvoegsel.
Gratings worden ontworpen volgens klantenspecificaties, b.v. grootte, lijnbreedte en grating hoogte. De mechanische stabiliteit en de duurzaamheid van de membranen worden verzekerd door een uiterst dunne (ca. 20nm) laag van verlaten siliciumnitride unetched in de spleten en een dwarsbalkstructuur. Onze rijpe processen en deskundigheid inzake de verwerking van de uiterst breekbare membranen laten ons toe om gratings van uitstekende kwaliteit aan betaalbare prijzen aan te bieden.
Eulitha is een pionier en een leider in productie die van nanostructures van uitstekende kwaliteit geavanceerde lithografietechnieken gebruikt. Wij bieden naar maat gemaakte en gestandaardiseerde nanostructures met resolutie aan die zich neer tot sub-20 NMgebied uitbreidt.
De vervaardiging van Eulitha voor periodieke nanostructures is gebaseerd op zijn verslag-brekende Extreme technologie van de Ultraviolette lithografie euv-IL van de Interferentie. Het methodegebruik steekt bij een golflengte van ongeveer 13 NM aan. Eulitha vervaardigt ééndimensionale lineaire gratings en tweedimensionale puntseries of netten door EUV-IL
Bron: Eulitha