EV Group (EVG) , een toonaangevende leverancier van wafer binding en lithografie-apparatuur voor de MEMS, nanotechnologie en halfgeleiders, heeft vandaag aangekondigd dat ze een bestelling voor de EVG101D, een fotolak ontwikkelaar, ontvangen van de Universiteit van Tokyo. Een eerste order te winnen van de universiteit, zal EVG's tool worden geïnstalleerd op een super-clean room (klasse 1) in de Takeda Sentanchi Building aan de Universiteit van de faciliteiten.
Een veelzijdige R & D-systeem, het EVG101D vergroot een bestaand ontwikkelaar aan de universiteit en zal worden gebruikt om 100-nm en kleinere patronen te ontwikkelen op maskers en wafers tot 200 mm op de onderzoeksfaciliteit. De patronen zal gecreëerd worden door e-beam lithografie systeem van de VLSI Design and Education Center (VDEC).
"Deze ontwikkelaar van EVG zal ons toelaten om de hoeveelheid chemicaliën die nodig zijn in de zich ontwikkelende proces te verminderen, en een algemene kostenbesparing voor ons", zegt professor Yoshio Mita van de Universiteit van Tokyo.
"De EVG100-serie is een flexibele toolset die kan worden aangepast om te dienen als een spray of spin coater, wat ideaal is voor een R & D omgeving. Daarnaast biedt deze fotoresist verwerking serie is in staat om coating patroon wafers, die geschikt is voor MEMS productie ", aldus Yuichi Otsuka, vertegenwoordiger directeur van EV Group Japan KK
De universiteit van Tokio heeft een geavanceerd onderzoek dat gericht is op ultrafijne lithografie / nanomeasurement. De verfijnde centrum maakt hun leading-edge R & D-tools voor nanoprocessing en nanomeasurement beschikbaar voor publieke en particuliere bedrijven als overheidsinstelling onderzoekers. Sinds de oprichting in 2007, hebben deze entiteiten gebruikt van het centrum high-throughput nanolithografie en nano-meetsystemen, evenals zijn super resolutie transmissie elektronen microscoop en een verscheidenheid aan productiesystemen atypische om halfgeleider productie. De faciliteit biedt ook gieterij en analyses diensten, met medewerkers van de universiteit bij de hand te ondersteunen. Voor meer informatie kunt u terecht op: www.nanotechnet.tu-tokyo.ac.jp