EV Group (EVG) , een toonaangevende leverancier van wafer binding en lithografie-apparatuur voor de MEMS, nanotechnologie en halfgeleiders, heeft vandaag aangekondigd dat een nieuw in-line metrologie module geïntroduceerd voor haar EVG850TB geautomatiseerde tijdelijke hechting en omkeerbare systemen.
Deze nieuwe mogelijkheid metrologie, die nu beschikbaar als een optie op de EVG850TB en EVG850DB platforms, stelt klanten in staat om in-line proces controle implementeren voor dunne-wafer processing. Dit maakt IC-fabrikanten te verminderen gebreken en wafer breuk - en verhoogt dus de opbrengsten en het verlagen van de productiekosten. Het toevoegen van in-line metrologie om dunne-wafer verwerking is bijzonder belangrijk in het helpen om de ramp-up van 3D-IC en TSV productie van pilot-lijn naar volume productie mogelijk te maken.
Nieuwe geïntegreerde EVG in-line metrologie module kan detecteren een verscheidenheid aan proces onregelmatigheden en gebreken tijdens tijdelijke hechting en omkeerbare, waaronder: totale dikte variatie (TTV) van de vervoerder wafer, klevende laag, gebonden stack en verdunde wafer; boeg / vervormen van de gebonden stack, en vides in de band interface.
Met de halfgeleider schaalvergroting te bereiken zijn fysieke grenzen en in toenemende mate kosten prohibitief, IC-fabrikanten wenden zich tot 3D-IC architecturen - waar meerdere circuit lagen worden gestapeld in een circuit en via TSVs - om het apparaat functionaliteit te verhogen. Dunne-wafer verwerking is de sleutel tot mogelijk TSV toepassingen. Echter, omdat dunne wafels zijn zeer kwetsbaar en gevoelig voor breuk, is een tijdelijke hechting van het apparaat wafer aan een drager wafer die nodig is om stabiliteit te verschaffen om het apparaat wafer tijdens de thin-wafer processing. Na het uitdunnen en achterkant verwerken, moet het apparaat wafer dan debonded, zodat de afzonderlijke apparaten te singulated en verpakt.
Omdat het apparaat wafers ondergaan veel processtappen voorafgaand aan de thin-wafer verwerking, is het essentieel dat de wafer dunner en bonding / onthechting proces niet bijdragen aan het verlies opleveren. Door de integratie van in-line metrologie in zijn EVG850TB/DB platforms - de industriestandaard voor tijdelijke wafer bonding en omkeerbare - EVG heeft haar klanten met een krachtig nieuw instrument om hun wafer-dunner en verlijmen processen te optimaliseren, tool downtime als gevolg van te verminderen yield problemen die zich voordoen tijdens de verwerking, en het maximaliseren van hun product opbrengsten en investeringen.
"Voor meer dan 10 jaar, EV Group heeft dunne-wafer processing pionier met onze tijdelijke bonding en omkeerbare oplossingen - doorlopend het toevoegen van nieuwe features die ervoor zorgen dat onze klanten om zich agressief op hun technologie roadmaps en lagere hun productiekosten," verklaarde Dr Thorsten Matthias, Business Development Director bij EVG. "Met onze nieuwe, geïntegreerde in-line metrologie-module, kunnen we nu bieden een totaaloplossing voor dunne-wafer verwerking die in staat zal stellen onze klanten naar het volgende niveau van de productie klaar te komen op hun toonaangevende producten door het geven van algemene controle van hun gehele metrologie proces, zoals het instellen van controle waarden om te helpen de cumulatieve effecten van een eventuele bonding / onthechting proces problemen te verzachten. "
Toegevoegd Matthias, "Beyond de rendementen te verbeteren, de integratie van in-line metrologie om onze EVG850TB/DB systemen ook kunnen tijdelijke hechting mogelijk te maken en onthechting te worden uitgevoerd door verschillende bedrijven - openstelling van een geheel nieuwe supply chain-model voor de TSV productie verder te verhogen . TSV adoptie en de kosten drukken Integrated Device Manufacturers (IDM) en gieterijen kan nu een tijdelijke hechting, uitdunnen en achterkant verwerken, terwijl uitbesteed halfgeleider-assemblage en test (OSAT) bedrijven kunnen de onthechting te doen voordat blokjes en verpakkingen - aangezien elke partij kan uitvoeren van uitgaande of inkomende kwalificatie van de integriteit van deze uiterst kwetsbare dunne wafels. "
Als onderdeel van haar voortdurende inspanningen om haar expertise te delen en opvoeden klanten en partners over de 3D-technologie vermogens, zullen EV Group presenteert op twee opkomende industrie conferenties. Markus Wimplinger, corporate ontwikkeling van technologie en IP-directeur, zal spreken over "In-line IR metrologie voor high-volume tijdelijk verlijmingen" op de SEMATECH workshop over 3D Interconnect Technology, 13 juli 2011, in San Francisco, Californië, en Thorsten Matthias, directeur van business development, zal aanwezig zijn op "Thin sterven stapelen voor een breed I / O-interface-geheugen-on-logica" tijdens SEMICON Europa, 11-13 oktober 2011, in Dresden, Duitsland.