Depending on the deposition parameters, this can yield amorphous silicon (a-Si or a-Si:H), protocrystalline silicon or nanocrystalline silicon (nc-Si or nc-Si:H), also called microcrystalline silicon.
Ovisno o parametrima taloženja, time se može dobiti: Amorfni silicij (a-Si ili a-Si:H) Protokristalni silicij, ili Nanokristalni silicij (nc-Si ili nc-Si:H), također zvan mikrokristalni silicij.