At the beginning of 2004, Unaxis was restructured into five Segments: Semiconductor Equipment, Data Storage Solutions, Coating Services, Vacuum Solutions and Components and Special Systems.
Anfang 2004 wurde innerhalb der Unaxis umstrukturiert und der Konzern in die fünf Geschäftsbereiche Semiconductor Equipment (Halbleiterausrüstungen), Data Storage Solutions (Datenspeicher-Lösungen), Coating Services (Beschichtungstechnologie), Vacuum Solutions (Vakuumlösungen) und Components and Special Systems (Komponenten und Spezialsysteme) gegliedert.