It operated at 1.3 GHz, supported PC1066 RIMMs and was fabricated in the same 0.18 µm process as the Alpha 21364.
A processzor 1,3 GHz-es órajelen működött, támogatta a PC1066 RIMM-eket, és ugyanazzal a 0,18 µm-es gyártási folyamattal készült, mint az Alpha 21364.