The required WF6 gas purity is rather high and varies between 99.98% and 99.9995% depending on the application.
Η απαιτούμενη καθαρότητα του αερίου εξαφθοριούχου βολοφραμίου ποικίλλει μεταξύ 99,98 και 99,9995%, ανάλογα με την εφαρμογή.