So, there are three stages: There is the optical stage, the illumination stage and the mask-holding stage.
มันมีอยู่สามส่วน มีแผ่นวางเลนส์ (optical stage)  แผ่นแหล่งกำเนิดแสง (Illumination stage) และแผ่นยึดตัวอย่าง