미세 구조 장치 또는 시스템, 예. 미세 기계 장치(압전, 정전기 또는 자기 변형 소자 자체 h10n30/00, h10n35/00)  microstructural devices or systems, e.g. micromechanical devices  (piezoelectric, electrostrictive or magnetostrictive elements <u>per se</u>h10n30/00, h10n35/00) 