미세 구조 장치 또는 시스템의 제조 또는 처리에 특별히 적합한 공정 또는 장치(마이크로캡슐 또는 마이크로풍선 제조 b01j13/02; 압전, 정전기 또는 자기 변형 소자의 제조 또는 처리에 특별히 적합한 공정 또는 장치 h10n30/01)  processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of microstructural devices or systems (making microcapsules or microballoons b01j13/02; processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of piezoelectric, electrostrictive or magnetostrictive elements <u>per se</u>h10n30/01) 