Specifikationerne for massespektrometrets parametre, som linearitet, stabilitet (henvisende til gas præcision) og målenøjagtighed, er afgørende for systemets nøjagtighed.
Die Gerätespezifikationen des Massenspektrometers wie Linearität, Stabilität (Referenzgas-Präzision) und die Präzision der Messung sind für die Genauigkeit der Analyse von fundamentaler Bedeutung.