Specifikace parametrů hmotnostního spektrofotometru jako linearita, stabilita (přesnost referenčního plynu) a přesnosti měření jsou základem správnosti systému.
Podroben opis parametrov analize zraka – linearnost, stabilnost (natančnost referenčnega plina), ter natančnost meritev – sta bistvena pogoja za točnost testnih rezultatov.