За етапите, представляващи екстра фини частици (< 1, 1μm), еквивалентността също е показана, с изключение на етапа на отлагане във филтър (извън 15%, но в рамките на 20%).
För stadier som motsvarar extra fina partiklar (< 1, 1 µm) påvisades också ekvivalens, med undantag för deponering i filterstadiet (utanför +15% men innanför +20%).