За етапите, представляващи екстра фини частици (< 1, 1μm), еквивалентността също е показана, с изключение на етапа на отлагане във филтър (извън 15%, но в рамките на 20%).
Pour les étages représentant les particules extrafines (< 1,1µ), l’ équivalence a également été démontrée, sauf pour le dépôt dans l’ étage filtre (en dehors de la limite +15% mais à l’ intérieur de celle de +20%).