Specifikace parametrů hmotnostního spektrofotometru jako linearita, stabilita (přesnost referenčního plynu) a přesnosti měření jsou základem správnosti systému.
De specificaties van de massaspectrometer-parameters zoals lineariteit, stabiliteit (referentie-gas precisie) en de precisie van de meting zijn fundamenteel voor de nauwkeurigheid van het systeem.