За етапите, представляващи екстра фини частици (< 1, 1μm), еквивалентността също е показана, с изключение на етапа на отлагане във филтър (извън 15%, но в рамките на 20%).
A legfinomabb részecskékre (< 1, 1 µm) vonatkozó szintek esetén az egyenértékűséget szintén bemutatta, a szűrőszinten történő depozíció kivételével (kívül a +15% - on, de belül a +20% - on).