Спецификациите на уредите на масовия спектрометър, в това число линеарност, стабилност (прецизност референтен газ), както и прецизността на измерването са от основно значение за лабораторния анализ.
A légzési analízis teljesítményjellemzői (pl. a linearitás, a stabilitás – referenciagáz pontossága), valamint a meghatározás pontossága alapvető jelentőséggel bírnak a rendszer torzításmentessége szempontjából.