Вътрешната аналитична прецизност трябва да е по- малко от ±0, 3 ‰ δ13C за 20 повторни анализа на една и съща референтна газова проба и да останат в рамките на 3 за стандартно отклонение от средната разлика на анализите на проби от издишан въздух.
Sisemine analüütiline täpsus peab olema vähem kui ±0. 3 ‰ δ13C sama referentsgaasi 20 proovi analüüsi kohta ning jääma 3 standardhälbe piiridesse keskmisest väljahingatud õhu proovide jaoks.