Тези пет стъпки се извършват в т. нар. анализатор на спектрометъра, който се разделя на следните части: източник, тръба и колектор.
Die Einhaltung der Spezifikationen wird durch Tests zur Linearität, Stabilität (Referenzgas-Präzision) und zur Präzision der Messung überprüft.