Спецификациите на уредите на масовия спектрометър, в това число линеарност, стабилност (прецизност референтен газ), както и прецизността на измерването са от основно значение за лабораторния анализ.
Οι προδιαγραφές των παραμέτρων του φασματογράφου μάζας, όπως γραμμικότητα, σταθερότητα (ακρίβεια αερίου αναφοράς) και ακρίβεια μέτρησης είναι θεμελιώδη για την ακρίβεια του συστήματος.