Спецификациите на уредите на масовия спектрометър, в това число линеарност, стабилност (прецизност референтен газ), както и прецизността на измерването са от основно значение за лабораторния анализ.
Ο προσδιορισμός των παραμέτρων της φασματογραφίας μάζας, όπως γραμμικότητα, ευστάθεια (ακρίβεια του αερίου αναφοράς) και ακρίβεια μέτρησης, είναι ουσιώδης για την ακρίβεια του συστήματος.