За етапите, представляващи екстра фини частици (< 1, 1μm), еквивалентността също е показана, с
Vastaavuus osoitettiin myös erityisen pieniä (< 1, 1 µm) partikkeleita edustavilla vyöhykkeillä; poikkeuksena oli depositio suodatinvyöhykkeelle (+15 prosentin rajan ulkopuolella mutta +20 prosentin rajan sisäpuolella).