Specifikace parametrů hmotnostního spektrofotometru jako linearita, stabilita (udání přesnosti plynu) a přesnosti měření jsou základem správnosti systému.
Massaspektrometrian parametrien, kuten lineaarisuuden, stabiilisuuden (referenssikaasun tarkkuus) sekä mittauslaitteen tarkkuuden spesifikaatio on olennaista systeemin tarkkuudelle.