Specifikace parametrů hmotnostního spektrofotometru jako linearita, stabilita (přesnost referenčního plynu) a přesnosti měření jsou základem správnosti systému.
La especificación de los parámetros de la espectrometría de masa, tales como linealidad, estabilidad (precisión del gas de referencia), y la precisión de la medición son fundamentales para la exactitud del sistema.