Specifikationerne for massespektrometrets parametre, som linearitet, stabilitet (henvisende til gas præcision) og målenøjagtighed er afgørende for systemets nøjagtighed.
Mass - spektromeetri parameetrite nagu lineaarsus, stabiilsus (referentsgaasi täpsus) ja mõõtmise täpsus spetsifikatsioon on süsteemi korralikult toimimiseks hädavajalik.