Specifikace parametrů hmotnostního spektrofotometru jako linearita, stabilita (přesnost referenčního plynu) a přesnosti měření jsou základem správnosti systému.
Masspektrometra raksturlielumu, piemēram, linearitātes, stabilitātes (kontroles gāzes precizitāte) specifikācija un mērījuma precizitāte ir nozīmīga sistēmas precizitātei.