Specifikace parametrů hmotnostního spektrofotometru jako linearita, stabilita (udání přesnosti plynu) a přesnosti měření jsou základem správnosti systému.
A kilégzett levegő elemzésének teljesítményjellemzői (pl. a linearitás, a stabilitás – referenciagáz pontossága), valamint a meghatározás pontossága alapvető jelentőséggel bírnak a rendszer torzításmentessége szempontjából.