За етапите, представляващи екстра фини частици (< 1, 1μm), еквивалентността също е показана, с
Pri úsekoch, ktoré predstavujú mimoriadne jemné častice (< 1, 1µm), bola ekvivalencia tiež preukázaná, okrem ukladania v úseku filtra (viac ako +15%, ale menej ako +20%).