За етапите, представляващи екстра фини частици (< 1, 1μm), еквивалентността също е показана, с изключение на етапа на отлагане във филтър (извън 15%, но в рамките на 20%).
Stadijų, atspindinčių ypač mažas daleles (< 1, 1 µm), ekvivalentiškumas taip pat buvo įrodytas, išskyrus nusėdimą filtro stadijoje (viršijant 15% ribas, tačiau neviršijant 20% ribų).