Chủ nghĩa vô thần siêu hình dựa trên thuyết nhất nguyên siêu hình – quan niệm rằng thực tại là đồng nhất và không thể phân chia. Những người vô thần siêu hình tuyệt đối đồng ý với một hình thức nào đó của thuyết thực hữu, do đó họ phủ nhận thẳng sự tồn tại của những gì phi vật lý. Những người vô thần tương đối giữ một thái độ phủ nhận ngầm đối với khái niệm về Chúa, dựa trên sự phi lý giữa các triết thuyết của họ và các thuộc tính thường được cho là của Chúa Trời, chẳng hạn như tính siêu việt, một khía cạnh cá thể, hoặc thể thống nhất. Các ví dụ về chủ nghĩa vô thần siêu hình tương đối bao gồm thuyết phiếm thần, thuyết thần tồn tại nơi vạn vật (panentheism) và thuyết thần giáo tự nhiên.
Chủ nghĩa vô thần siêu hình dựa trên thuyết nhất nguyên siêu hình – quan niệm rằng thực tại là đồng nhất và không thể phân chia. Những người vô thần siêu hình tuyệt đối đồng ý với một hình thức nào đó của thuyết thực hữu, do đó họ phủ nhận thẳng sự tồn tại của những gì phi vật lý.