Một số tranh cãi và mù mờ ngữ nghĩa xung quanh việc định nghĩa "chủ nghĩa vô thần" phát sinh từ khó khăn trong việc đạt đến sự đồng thuận đối với định nghĩa của các từ như "Thần" hay "Chúa" (Deity và God). Tính nhiều chiều của các khái niệm rất khác nhau về chúa và thần dẫn đến các ý niệm khác nhau về tầm áp dụng của chủ nghĩa vô thần. Ví dụ trong các ngữ cảnh mà chủ nghĩa hữu thần được định nghĩa là đức tin vào một vị thần hữu ngã duy nhất, những người theo thuyết đa thần (polytheism) hoặc thần giáo tự nhiên (deism) có thể bị xem là những người vô thần. Trong thế kỷ XX, quan niệm này đã mất dần sự ủng hộ do thuyết hữu thần đã được hiểu là hàm ý có đức tin vào bất cứ điều gì có tính chất thần thánh.Về các dạng hiện tượng bị phủ nhận, chủ nghĩa vô thần có thể chống lại bất cứ điều gì, từ sự hiện hữu của thần linh tới sự tồn tại của bất cứ khái niệm tâm linh, siêu nhiên, hay siêu việt nào, chẳng hạn như những khái niệm của Ấn Độ giáo và Phật giáo.
Một số tranh cãi và mù mờ ngữ nghĩa xung quanh việc định nghĩa "chủ nghĩa vô thần" phát sinh từ khó khăn trong việc đạt đến sự đồng thuận đối với định nghĩa của các từ như "Thần" hay "Chúa" (Deity và God). Tính nhiều chiều của các khái niệm rất khác nhau về chúa và thần dẫn đến các ý niệm khác nhau về tầm áp dụng của chủ nghĩa vô thần.