使用机油润滑的半导体晶圆研磨系统及研磨方法权利说明书摘要
1、技术领域：本发明涉及一种使用机油作为润滑剂的半导体晶圆研磨系统及其研磨方法。
2、背景技术：传统的晶圆研磨通常使用水作为润滑剂，但存在润滑效果不佳、使用寿命短、环境污染等问题。
3、发明内容：本发明的目的是提供一种高效、环保、使用寿命长的晶圆研磨系统及方法，通过使用机油作为润滑剂，提高润滑效果，延长设备寿命，减少环境污染。
4、技术方案：本系统包括晶圆夹持装置、研磨盘、机油供应装置和控制系统。研磨过程中，机油通过机油供应装置输送到研磨盘与晶圆之间，形成润滑膜，减少摩擦，提高研磨效率和质量。
5、有益效果：使用机油作为润滑剂，可显著减少摩擦，提高研磨效率，延长设备使用寿命，同时减少了对环境的污染。
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技术领域：本发明涉及一种使用机油作为润滑剂的半导体晶圆研磨系统及研磨方法。
背景技术：传统研磨多用水润滑，存在润滑不佳、寿命短、污染环境等问题。
发明内容：本发明旨在提供高效、环保、长寿命的晶圆研磨方案，通过机油润滑，提升效果，延长设备寿命，减少污染。
技术方案：系统包括晶圆夹持装置、研磨盘、机油供应和控制系统。研磨时，机油输送至研磨盘和晶圆间，形成润滑膜，减少摩擦，提高效率和质量。
有益效果：机油润滑显著减少摩擦，提高研磨效率，延长设备寿命，减少环境污染。
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