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エキシマランプ
キセノンエキシマランプから放射する172nmの真空紫外線および大気中で発生するオゾンを利用して、半導体ウエハーや液晶ガラス基板の表面光洗浄用、樹脂やゴム材料の表面改質にもご利用頂けます。
特長
キセノンのエキシマ発光である172nmの真空紫外線を放射するランプ
大気中の点灯でオゾンを発生する
用途
洗浄：　FPD、半導体製造のUV洗浄
改質：　FPD、半導体製造の表面改質
貼合せ：　ガラス、フィルム貼合せ
実験：　各種光化学実験
外形寸法／電気特性
品名
管径
(mm)
全長
(mm)
発光長
(mm)
ランプ
電流
(A)
ランプ
電圧
(V)
ランプ
電力
(W)
172nm照度
(mW/cm2)
GLE140 Φ17.5 441 276 1.8 78 140 50
GLE220 Φ17.5 745 580 3.0 73 220 50
GLE350 Φ17.5 1115 950 1.8 195 350 50
※ 照度測定距離：0m
分光分布
関連情報
実装例（UVランプ照射ユニット）
納入事例
カタログ閲覧
カタログ請求
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東芝ライテック 産業デバイス営業部
UVシステム・産業用デバイス
044-331-7571
車載用光源
044-331-7570
FAX
044-548-9609
お問い合わせの際は、電話番号・FAX番号をお確かめのうえ、おかけ間違いのないようにご注意ください。
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