ИССЛЕДОВАНИЕ АДСОРБЦИИ ВОДЫ НА КВАРЦЕВЫХ РЕЗОНАТОРАХ. ЭКСПЕРИМЕНТ И ФИЗИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ПРОЦЕССА
В статье описано влияние ненасыщенных паров воды на кварцевые резонаторы, на поверхности которых путем магнетронного распыления были сформированы оксидные пленки. Описана методика высокоточных измерений влияния малых концентраций паров на изменение частот кварцевых генераторов. Предложено новое модельное описание процесса адсорбции на поверхности Al2O3. модель позволяет перечислить слои воды, образующиеся на поверхности, и установить число слоев в зависимости от условий эксперимента. Полученные оценки параметров адсорбции согласуются с известными экспериментальными данными и результатами, полученными в работах других авторов.