УСТАНОВКА ДЛЯ НАПЫЛЕНИЯ В ВАКУУМЕ ТОПОЛОГИЧЕСКОГО ТОНКОПЛЕНОЧНОГО РИСУНКА ГИБРИДНОЙ МИКРОСХЕМЫ НА ПОДЛОЖКУ
Разработана конструкция установки вакуумного напыления для формирования на подложке топологического тонкопленочного металлического рисунка микросхемы, напыляемого в вакууме через сменяемые автоматически без, необходимости разгерметизации установки маски.