Моделирование распределения толщины вакуумных покрытий в программном пакете MathCAD
В статье рассматривается методика оценки распределения толщины вакуумных покрытий при напылении их из различных устройств. Проведена оценка распределения толщин вакуумных покрытий, осаждаемых из испарителей с различной индикатрисой на плоские подложки в вакуумных рабочих камерах. Представлено применение разработанной компьютерной программы для практической оценки толщин покрытий, позволяющей выбирать рациональные сочетания геометрических факторов при осаждении покрытий. Полученные результаты вакуумного осаждения металлических функциональных покрытий согласуются с расчетными данными и позволяют предварительно оценить степень равномерности по толщине формируемых покрытий с использованием моделирования в программе MathCAD.