ОБОБЩЕННАЯ АРХИТЕКТУРА ПРОГРАММНОГО КОМПЛЕКСА УПРАВЛЕНИЯ ОБОРУДОВАНИЕМ КОНТРОЛЯ КРИТИЧЕСКИХ РАЗМЕРОВ НА БАЗЕ СИСТЕМ МАШИННОГО ЗРЕНИЯ
В данной работе описываются функции и структура программного комплекса управления оборудованием контроля критических размеров на базе систем машинного зрения. Описаны преимущества разработанной архитектуры, а также ее использование для решения задач анализа изображений микросхем с помощью оборудования автоматического контроля топологии. Применение описанной архитектуры программного комплекса позволяет эффективно идентифицировать дефекты, что особенно важно для разработки программного обеспечения установок контроля топологии СБИС по субмикронным нормам.