Исследование зависимостей энергетических характеристик ленточного электронного потока от его управляемых параметров при воздействии на изделия микрооптики и интегральной оптики.
С использованием метода вращающегося зонда установлены закономерности влияния управляемых параметров ЛЭП (тока электронного потока, ускоряющего напряжения, расстояния до обрабатываемой поверхности) на его энергетические характеристики: плотность теплового воздействия, коэффициент сосредоточенности, ширину зоны воздействия электронного потока.