ВЛИЯНИЕ АБРАЗИВНОЙ ОБРАБОТКИ НА ТРЕЩИНОСТОЙКОСТЬ ПЛАСТИН ИЗ КАРБИДА КРЕМНИЯ РАЗЛИЧНЫХ ПОЛИТИПОВ
Исследования направлены на снижение брака при производстве полупроводниковой продукции на основе карбида кремния, что достигается путем изучения влияния технологических режимов обработки свободным абразивом (алмазным микропорошком в специальной пасте) на трещиностойкость карбидокремниевых пластин. Представлены результаты алмазно-абразивной обработки пластин из карбида кремния политипов 4H и 6H. Исследованы размеры поверхностных микротрещин керамических подложек после механической обработки пастами с алмазным порошком различной зернистости, а также установлена взаимосвязь между длиной поверхностной микротрещины и скоростью съема материала, зависящей от технологических режимов алмазно-абразивной обработки. Впервые предложен научно обоснованный подход к выбору режимов алмазно-абразивной обработки карбидокремниевых пластин различных политипов, при которых формируемые микротрещины не способны привести к разрушению изделия на последующих технологических этапах изготовления полупроводниковой продукции.