ПРИМЕНЕНИЕ ЦИФРОВЫХ НОНИУСНЫХ ПОЛОС ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ОБЪЕКТОВ
Предложено для увеличения точности и чувствительности линейных измерений использовать цифровые нониусные полосы, формирующиеся путем вычитания изображений зарегистрированных дифракционных картин, получаемых при освещении объекта излучением с разными длинами волн. Показано, что коэффициент преобразования перемещения при использовании таких цифровых полос зависит от отношения длин волн используемых источников, а сами полосы удобно выделять из изображения с помощью преобразования Гильберта. Проведенные расчеты и эксперименты показали, что предложенный метод позволяет измерять сдвиг изображения с субпиксельной погрешностью (до 1/30 пиксела) и уменьшить погрешность дискретизации при измерении перемещения контролируемого объекта. Предложенный метод измерения, использующий цифровые нониусные полосы, может быть использован для создания измерителей линейных перемещений с погрешностью измерения порядка 0,05 %.