ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ С ЧАСТОТНЫМ ВЫХОДОМ НА ОСНОВЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ, УСТОЙЧИВЫЕ К ВОЗДЕЙСТВИЮ ТЕМПЕРАТУР
Поступила в редакцию 12.05.2011 Рассмотрены датчики давления с частотным выходным сигналом на основе тонкопленочных тензорезисторных нано- и микроэлектромеханических систем, устойчивые к воздействию температур. Представлены оригинальные топологии расположения тензоэлементов на мембране чувствительного элемента датчика и схемы частотных преобразователей.