Прецизионный контроль топологии поверхности ситалловых подложек СТ 50-1
Исследована возможность получения гладких поверхностей ситалловых подложек под воздействием лазерного излучения. Рассмотрена методика локального контроля топологии поверхности ситалла СТ-50-1 при помощи сканирующего зондового микроскопа в полуконтактном и контактном режимах до и после воздействия лазерного излучения.