Исследование текстуры нанокристаллического кремния, полученного методом интенсивной пластической деформации, с использованием данных комбинационного рассеяния света
Проведены измерения угловых зависимостей интенсивности поляризованных компонент комбинационного рассеяния света в образцах нанокристаллического кремния, полученного методом интенсивной пластической деформации. Исследовали два образца, полученные кручением на наковальнях Бриджмена при давлениях 2 и 6 ГПа. Измерения показали, что на фоне деполяризованного рассеяния, характерного для случайно-ориентированного ансамбля кристаллитов, присутствует часть поляризованного излучения, относящегося к строго ориентированной кристаллической фазе. Для количественного описания величины упорядочения ансамбля кристаллитов использована модель, предполагающая, что образец состоит из кристаллитов примерно одинакового размера, а направления кристаллитов имеют некоторое среднее значение и разупорядочены относительно него с дисперсией σ. С использованием предложенной модели показано, что для образцов, полученных при давлениях 2 и 6 ГПа, угловые дисперсии равны 0.51 и 0.53 соответственно. B работе предложен метод выявления наличия текстуры и определения преимущественного кристаллографического направления ансамбля кристаллитов (ориентация текстуры) по измерению угловой зависимости интенсивности поляризованных компонент комбинационного рассеяния света. Численное значение, характеризующее величину упорядоченности текстуры, в данном случае можно считать величиной дисперсии разупорядочения по углу ориентации кристаллитов.