МЕХАНИЗМ ФОРМИРОВАНИЯ ВНУТРЕННЕЙ СТРУКТУРЫ В МНОГОСЛОЙНЫХ УГЛЕРОДНЫХ НАНОТРУБКАХ, ПОЛУЧЕННЫХ НА DC-МАГНЕТРОНЕ
Исследованы особенности роста и строения многослойных углеродных нанотрубок (МУНТ) в пленках CNx:EuyOz, полученных методом DC-магнетронного распыления комбинированной углерод-металлооксидной мишени в атмосфере азота. Обнаружено, что внутреннее строение нанотрубок соответствует каталитическому механизму роста с предварительным засеванием поверхности подложки металлическими частицами. Предполагается, что возникновение данного механизма обусловлено образованием на начальном этапе глобул аморфного углерода, выступающих в роли катализатора роста МУНТ.