Исследование параметров плазмы индуктивного ВЧ-источника плазмы диаметром 46 см. Часть III. Эффективность вложения мощности
В работе представлены результаты измерения эквивалентного сопротивления плазмы, являющегося мерой способности плазмы поглощать ВЧ-мощность. Рассмотрен индуктивный ВЧ-разряд в инертных газах в диапазоне давлений 1 мТорр - 10 Торр. Показано, что при частотах упругих столкновений, не превышающих 3∙10 7 с -1, значения эквивалентного сопротивления различных газов в пределах ошибки эксперимента «ложатся» на одну кривую. При частотах столкновений более 3∙10 7 с -1 значительный вклад в поглощение вносит емкостная составляющая разряда.