Экспериментальная установка по микрои наноструктурированию поверхности твердых тел лазерным излучением
Создана экспериментальная установка для микро- и наноструктурирования поверхности на основе импульсно-периодических ArF-лазера (λ = 193 нм) и Nd:YAG лазера (λ = 532 нм и λ = 355 нм). Описаны схема работы и основные параметры установки. Экспериментально продемонстрирована возможность получения структур с микронными и субмикронными размерами на поверхности диоксида циркония и титана при облучении наносекундными лазерными импульсами. Представлены микрофотографии поверхностных структур на образцах из диоксида циркония и титана.