СТРУКТУРА ВОЛНЫ СИНТЕЗА ИНТЕРМЕТАЛЛИЧЕСКИХ ФАЗ В ТОНКОПЛЕНОЧНОМ КОНДЕНСАТЕ Cu/Sn
Исследованы процессы синтеза интерметаллических соединений в двухслойных тонких пленках Cu/Sn. Синтез интерметаллидов может осуществляться по автоволновой кинетике. Структура фронта волны синтеза представляет собой совокупность фрагментов - реакционных островков, концентрация которых максимальна во фронте волны. Установлено, что скорость движения фронта на порядок превосходит скорость радиального роста островка, то есть фронт волны синтеза формируется не за счет роста, а за счет множественного зарождения островков. Определен коэффициент диффузии компонент в зону реакции, свидетельствующий об аномально быстром диффузионном массопереносе компонент. Коэффициент диффузии тонкой пленки на три порядка превосходит значение коэффициента самодиффузии.