Особенности формирования изображений в РЭМ в режиме вторичных медленных электронов. 1. Структуры с большими углами наклона боковых стенок
Проведено исследование формирования изображений кремниевых микроструктур в растровом электронном микроскопе, работающем в режимах сбора вторичных медленных и обратно рассеянных электронов. В качестве исследуемого объекта использовался тест-объект МШПС-2.0К. Тест-объект состоит из шаговых структур (выступов и канавок в кремнии), профиль которых имеет трапециевидную форму с большими углами наклонов боковых стенок. Показано, что сигнал вторичных медленных электронов формируется по-разному на рельефной и безрельефной поверхностях. В то же время сигнал обратно рассеянных электронов формируется одинаковым образом на рельефной и безрельефной поверхностях.