Влияние электропитания магнетронной распылительной системы на свойства осаждаемых пленок TiO<sub>2</sub>
Рассмотрены преимущества получения прецизионных оптических покрытий методом магнетронного распыления с электропитанием газового разряда в среднечастотном диапазоне изменения токов. Обоснована важность выбора оптимальных характеристик и режимов работы источников электропитания магнетронной распылительной системы (МРС) для получения оптических покрытий высокого качества. На разработанной технологической установке магнетронного распыления, включающей многорежимную систему электропитания МРС, получены образцы с тонкими пленками TiO2 при различных частотах повторения импульсов тока fмаг, подаваемых на МРС, и идентичных других условиях напыления. Образцы исследовали методами лазерной эллипсометрии, атомно-силовой микроскопии, рентгеновской дифракции и рентгеновской рефлектометрии. Показано влияние fмаг на функциональные свойства пленок TiO2: показатель преломления, плотность, шероховатость.