ИЗГОТОВЛЕНИЕ СЕТОК И ШКАЛ ДЛЯ ОПТИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ МЕТОДОМ ЛАЗЕРНОГО УПРАВЛЯЕМОГО ТЕРМОРАСКАЛЫВАНИЯ
В работе приведены результаты исследований новой технологии изготовления оптических сеток и шкал с использованием метода лазерного управляемого термораскалывания (ЛУТ). Показана возможность изготовления сеток и шкал в широком диапазоне размеров их ширины: от десятков нанометров до десятков микрометров, а также эффективность их подсветки в различных оптических диапазонах.