Оптимизация структур микромеханических акселерометров
Обоснована возможность оптимизации выбора известных измерительных цепей с применением критерия в виде минимального значения функционала от квадратичной разности идеальной функции преобразования исследуемых цепей и функции преобразования, учитывающей влияние паразитных полупроводниковых структур. Полученные результаты моделирования позволили подтвердить уменьшение влияния паразитных МДП-структур в измерительных цепях, построенных на основе импульсного уравновешивания зарядов.