ВЛИЯНИЕ ГЕОМЕТРИИ КРЕМНИЕВОГО ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА МЭМС НА СОБСТВЕННЫЕ КОЛЕБАНИЯ
Рассмотрены закономерности возникновения частот и форм собственных колебаний кремниевого чувствительного элемента микроэлектромеханической системы, являющегося основой измерительной системы МЭМС-акселерометра. Определены шесть собственных частот и форм колебаний. Выявлена зависимость собственных частот от геометрии и расположения торсионов и перфорации кремниевой пластины. Установлено, что низкочастотные формы колебаний наиболее чувствительны к изменению геометрии кремниевых торсионов, а высокочастотные определяются почти исключительно геометрией пластины и локализуются в ее материале. Наиболее существенное влияние на собственные колебания элемента МЭМС-системы оказывает схема расположения торсионов.