Исследование состояния приповерхностного слоя полированных кремниевых подложек методом рентгеновской рефлектометрии в зависимости от методов их очистки
Исследовано состояние приповерхностного слоя полированных кремниевых подложек и влияние на него процедур очистки поверхности – промывки в ультразвуковой ванне, травления и вакуумного отжига. Методом рентгеновской рефлектометрии определены среднеквадратичная шероховатость, толщина и плотность приповерхностного нарушенного слоя. Показано, что подложки имеют приповерхностный нарушенный слой толщиной 1.5 нм, наиболее ярко проявляющийся после отжига при 350°С. На основе процедур травления и последующего вакуумного отжига предложен подход к очистке поверхности от загрязнений, нарушенного слоя и получению подложек со среднеквадратичной шероховатостью σz = 0.42 нм. Этот подход может быть применен, в частности, при нанесении тонких органических пленок.