Тонкопленочные емкостные микроэлектромеханические системы с деформируемым диэлектриком
Рассмотрены тонкопленочные емкостные микроэлектромеханические системы с деформируемым диэлектриком с планарными и цилиндрическими электродами. Определены оптимальные соотношения их основных элементов.