Прямое измерение ширины линии на атомно-силовом микроскопе
Представлен метод прямого измерения ширины линии на атомно-силовом микроскопе с использованием первой производной сигнала. Метод показал возможность прямого измерения размера верхнего основания трапециевидного выступа вплоть до 30 нм.