КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ НАНОИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ДЕТЕРМИНИРОВАННЫХ МОДЕЛЕЙ
Рассмотрено компьютерное моделирование нано- и микроэлектромеханических систем (НиМЭМС) с использованием детерминированных моделей. Описаны различные компьютерные программы для исследования и анализа НиМЭМС, предложен маршрут моделирования для решения задач проектирования.