ЗЕРКАЛЬНО-ДИФРАКЦИОННЫЙ ОБЪЕКТИВ ДЛЯ ФОКУСИРОВКИ ЛАЗЕРНОГО РАДИАЛЬНО ПОЛЯРИЗОВАННОГО ПУЧКА В ПЯТНО ПРЕДЕЛЬНО МАЛОГО РАЗМЕРА
Предложен и исследован новый тип «сухого» высокоаперурного (NA~1) зеркально-дифракционного объектива с большим рабочим отрезком (1 мм) и внутренним преобразованием формы входного излучения в пучок с кольцевой апертурной функцией. Диаметр лазерного пятна в фокальной плоскости объектива составляет около 100 нм при рабочей длине волны 266 нм и радиальной поляризации входного излучения. Профиль функции рассеяния точки данного объектива близок к бесселевой функции первого рода нулевого порядка.