Математическая модель системы автоматического управления движением подложкодержателя при имплантации
Разработана структурная схема системы автоматического управления движением подложкодержателя вдоль оси Х. Проведено исследование подложкодержателя при его движении вдоль одной оси X. В пакете прикладных программ VisSim-32 представлена передаточная функция объекта и проведено моделирование описанного эксперимента.