Термодинамическое моделирование процесса химического осаждения BCxNy из смеси N-триметилборазина и водорода
Проведено термодинамическое моделирование процесса химического осаждения из газовой фазы в системе B - C - N - H при пониженном давлении (13,3 и 1,33 Па) в широком интервале температур синтеза 300 - 1300 К с использованием исходной газовой смеси N-три- метилборазина с водородом. Источником примеси кислорода в рассматриваемой системе может служить остаточное давление воздуха в реакторе. Моделирование процессов в системах B - C - N - H - O и B - C - N - H - O - Не показало, что в присутствии кислорода состав конденсированных фаз существенно усложняется. Показана возможность получения пленок различного состава и определены границы условий осаждения покрытий общего состава BCxNy.