НЕРАВНОВЕСНЫЕ ПРОЦЕССЫ ПРИ ЛЕГИРОВАНИИ КРЕМНИЕВОЙ ПОДЛОЖКИ МДП-СТРУКТУР ЦИРКОНИЕМ
Исследовано влияние атомов Zr на неравновесные процессы в кремниевых МДП-структурах. Установлено, что наличие Zr в МДП-структурах приводит к сдвигу ВФХ, увеличению Nss и появлению на спектрах распределения Nss (Eg) трех явно выраженных пиков в области энергий со значениями Ес - 0.22эВ, Ес - 0.27 эВ и Еv + 0.30 эВ. PACS: 81.05.-t, 71.55.-i.