Электронно-зондовый рентгеноспектральный анализ нанопленок при наклонном падении пучка электронов
Исследованы предельные возможности электронно-зондового рентгеноспектрального метода определения следовых количеств металла на кремниевой подложке. Экспериментальные данные получены для ультратонких пленок хрома на кремниевой подложке. Показано, что при сильном наклоне образца (80°) улучшается отношение сигнал/шум. Это позволило определить рекордно низкие для данного метода содержания хрома. Градуировочная характеристика для наклонного расположения образца получена расчетным путем с использованием метода Монте-Карло. Экспериментально определена поверхностная концентрация атомов хрома (2,2 ± 0,5) · 1014 см-2. Предел обнаружения хрома при предложенной конфигурации эксперимента составил около 5 · 1013 см-2. Для электронно-зондового микроанализа массивных образцов это значение является рекордным. Эквивалентная масса хрома при таком значении поверхностной концентрации составляет приблизительно 4 · 10-18 г. Реализация данного способа не требует внесения изменений в конструкцию прибора.