Релаксация электрофизических параметров эпитаксиальных пленок КРТ при воздействии высокочастотного наносекудного объемного разряда в воздухе атмосферного давления
Представлены экспериментальные результаты исследования влияния высокочастотного наносекундного диффузного разряда в воздухе атмосферного давления на электрофизические свойства эпитаксиальных пленок КРТ. Анализ магнитополевых зависимостей коэффициента Холла показал, что в результате облучения в приповерхностной области материала образуется высокопроводящий слой n -типа проводимости. Показано, что после облучения наблюдается релаксация значений электрофизических параметров эпитаксиальных пленок к исходным значениям.