Закономерности дефокусированных изображений в растровой электронной микроскопии и измерения размеров в нанообласти
Рассмотрены проблемы измерения размеров в нанообласти. Результаты натурных и модельных экспериментов с растровыми электронно-микроскопическими изображениями в обратно рассеянных электронах показывают, что все профили интенсивности, возникающие при дефокусировках, пересекаются в точках, соответствующих краям объекта. Предложено физическое объяснение наблюдаемому эффекту. Справедливость модели подтверждена для выступа прямоугольной формы. Эффект, предположительно, позволяет исключить использование в процессе измерений моделирования электронных микрофотографий при сопоставлении изображений измеряемого объекта с изображением меры.