Получение поликристаллического кремния из моносилана газоструйным плазмохимическим методом. Моделирование и эксперимент
Предложен метод плазмохимического получения поликристаллического кремния. Метод основан на разложении моносилана, подаваемого в реактор в виде сверхзвуковой струи и активированного с помощью электронного пучка. Проведено газодинамическое моделирование распределения потерь кремния в процессе осаждения. Определены коэффициент разложения моносилана с помощью масс-спектрометрических измерений, а также коэффициенты прилипания кремния к поверхности и коэф фициент использования моносилана при помощи газодинамического моделирования и весовых измерений.