Параметры резистивных структур на поликристаллическом кремнии
Рассмотрен механизм проводимости в поликристаллическом кремнии. Определены параметры модели подвижности через границу кристаллитов. Проведено моделирование резистора на основе поликристаллического кремния в области отрицательных температур и определены границы изменения сопротивления в заданном температурном диапазоне.