ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ СЕНСОРНЫХ МИКРО- И НАНОСИСТЕМ: ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ И МАСШТАБНЫЕ ЭФФЕКТЫ. ЧАСТЬ 2. ДЕТЕКТОРЫ, ИСТОЧНИКИ И ХАРАКТЕРИСТИКИ ШУМОВ
Во второй части обзора, посвященной аналитическому описанию емкостных, пьезорезистивных, оптоэлектронных и туннельных детекторов электромеханических преобразователей сенсорных микро- и наносистем, показано, что наиболее перспективными при переходе от микро- к на-носистемам являются туннельные детекторы. Однако в них резко проявляются побочные физико-химические, в первую очередь адгезионные и капиллярные, эффекты и силы. При переходе к наномасштабу в основных элементах электромеханических преобразователей существенную роль начинают играть различные флуктуационные процессы, в частности, термомеханические, температурные и адсорбци-онно-десорбционные в чувствительных механических элементах и электрические - в туннельных детекторах. Эти процессы в решающей степени определяют характер и величину помех (шумов) и, соответственно, чувствительность и разрешающую способность сенсорных наносистем.