ЭЛИОННЫЕ И ЗОНДОВЫЕ НАНОТЕХНОЛОГИИ ДЛЯ МИКРО- И НАНОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ
Целью работы является представление задач и возможностей научно- образовательного центра "Нанотехнологии" ЮФУ в области разработки и изготовления элементов приборов микро- и наносистемной техники на основе элионные и зондовых нанотехнологий.