Нанесение диэлектрических нанопленок на пористую поверхность анодной конденсаторной фольги
Целью настоящей работы является апробация метода осаждения диэлектрика из оксида иттрия путем термического разложения раствора соли иттрия в карбоновой кислоте на поверхности алюминиевой анодной конденсаторной фольги. Были изготовлены образцы из травленой алюминиевой фольги фирмы KDK (Япония) с нанесенным на нее диэлектриком из оксида иттрия различной толщины и структуры, измерены емкостные характеристики полученных образцов, проведена оценка влияния толщины и структуры оксидного слоя на его диэлектрические свойства. Также была исследована тонкая структура полученных пленок с помощью трансмиссионной электронной микроскопии.