МЕТОД ПОВЫШЕНИЯ ТОЧНОСТИ ВОССТАНОВЛЕНИЯ ВОЛНОВОГО ФРОНТА ПО НАБОРУ ИНТЕРФЕРОГРАММ
Предложен новый подход к восстановлению волнового фронта (фазы) из интерферограмм, основанный на применении классического метода прослеживания полос по выборке интерферограмм с различными числом и ориентацией интерференционных полос. Восстановленные по отдельным интерферограммам волновые фронты усредняются, и по полученным данным судят о качестве контролируемой поверхности. Усреднение фазы из нескольких интерферограмм позволяет понизить дисперсию ошибки восстановления фазы, вызванную случайным шумом, неравномерностью освещения апертуры и покрытия её интерференционными полосами, а также снизить влияние нестабильности внешних условий.