Локальное травление кремния с использованием твердой маски на основе пористого оксида алюминия
Рассмотрены технологические особенности нанопрофилирования кремния, защищенного твердой маской на основе пористого оксида алюминия. Показано, что эффективным для травления через данную маску является метод, основанный на бомбардировке структур ускоренными нейтральными атомами, в частности атомами аргона.