СОБСТВЕННЫЕ ЧАСТОТЫ МЕХАНИЧЕСКИХ КОЛЕБАНИЙ В ПРИВОДАХ ЗОНДОВОГО ОБОРУДОВАНИЯ С ЗУБЧАТО-РЕМЕННЫМИ ПЕРЕДАЧАМИ
В статье приведены результаты исследований жесткости полиуретановых зубчатых ремней, используемых в прецизионных приводах вертикального хода зондовых установок ОАО «Планар», анализ которых показал, что жесткость этих ремней в рабочем диапазоне нагрузок практически не зависит от скорости растяжения и нагрузки, причем при ее средней величине Ср ~ 105 Н/мм среднее квадратическое отклонение составляет 7,1 Н/мм при коэффициенте вариации, не превышающем 7 %. Практически при всех скоростных режимах растяжения и нагруженности значения средних квадратических отклонений были близки между собой и их средняя величина составила Scp = 5,3 Н/мм, т. е. все полученные значения жесткостей вкладываются в диапазон ±3Scp. При этом рассеивание мгновенных значений жесткости практически не зависит от степени натяжения зубчатого ремня, что позволяет при построении математической модели механических колебаний стола с собственной частотой использовать фиксированную величину жесткости полиуретанового зубчатого ремня. Определены ориентировочные значения частот собственных механических колебаний стола в вертикальном направлении, позволяющие технически обоснованно осуществить выбор датчиков колебаний и средств мониторинга этих колебаний по координате Z.