Исследование локальной фотопроводимости пленок ZrO<sub>2</sub>(Y) с наночастицами Au методом туннельной атомно-силовой микроскопии
Методом туннельной атомно-силовой микроскопии исследована локальная поперечная фотопроводимость ультратонких (толщиной ~4 нм) пленок ZrO2(Y) со встроенными однослойными массивами наночастиц Au размером ~2 нм. Пленки ZrO2(Y) с наночастицами Au были cформированы на стеклянных подложках с прозрачным проводящим подслоем оксида индия-олова методом послойного магнетронного осаждения с последующим отжигом. В спектрах оптического поглощения образцов наблюдается пик на длине волны λ ≈ 660 нм, обусловленный коллективным плазмонным резонансом в плотных массивах наночастиц Au. Фототок между зондом микроскопа и проводящим подслоем измерялся при фотовозбуждении области контакта зонда с поверхностью образца через прозрачную подложку излучением полупроводникового лазера на длине волны плазмонного резонанса. Возрастание тока через зонд атомно-силового микроскопа при фотовозбуждении связано с автоэмиссией электронов из наночастиц Au в зону проводимости ZrO2(Y) в сильном электрическом поле, возникающем между зондом и подслоем оксида индия-олова, с участием фотонов в условиях плазмонного резонанса.