МОЭМ-резонатор волоконного отражательного интерферометра
Цель работы состоит в разработке конструкции и технологии перестраиваемого резонатора волоконного ОИ на основе микрооптоэлектромеханической (МОЭМ) структуры. Описана схема нового варианта волоконного отражательного интерферометра (ОИ) с резонатором на основе МОЭМ-зеркала. Проведено моделирование основных электромеханических характеристик упругой балки, используемой в качестве заднего зеркала резонатора. Преимущество рассматриваемой схемы ОИ заключается в существенном упрощении технологии изготовления резонатора по сравнению с МОЭМ-интерферометром Фабри-Перо, так как одно из зеркал может быть непрозрачным и выполняться в виде металлической балки. Представленные экспериментальные исследования показывают, что на основе МОЭМ-элементов возможно достижение высоких частот перестройки резонансной длины волны резонатора во всем диапазоне области свободной дисперсии.