Способ оценки стабильности масштабного коэффициента просвечивающего электронного микроскопа
Предложен способ оценки стабильности масштабного коэффициента просвечивающего электронного микроскопа JEM-2100 при помощи тест-объекта, выполненного в виде тонкого среза кристаллической рельефной наноструктуры с известной формой профиля. Представлены результаты экспериментальной оценки за двухнедельный период.