КИНЕТИЧЕСКИЕ СХЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ СВОЙСТВАМИ ПРИМЕСНО-ДЕФЕКТНОЙ ПОДСИСТЕМЫ КРЕМНИЯ И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ
Представлены данные о взаимодействии точечных дефектов и примеси. Приведены краткая теоретическая модель и экспериментальные результаты электронно-микроскопических исследований пластин кремния после ионной имплантации и отжига в нейтральной и химически активной водородной среде. Показано, что отжиг в химически активной среде приводит к обратной диффузии примеси и к улучшению структуры приповерхностной области кремния.