Влияние условий магнетронного напыления на структуру жаростойких наноструктурированных покрытий из диоксида циркония ZrO <sub>2</sub>
Представлено получение методом магнетронного высокочастотного распыления керамической мишени наноструктурированных покрытий из стабилизированного диоксида циркония Zr(Y, Hf)O 2, имеющих двухфазную структуру, состоящую из моноклинной и тетрагональной фаз. Установлено, что парциальное давление кислорода O 2 в рабочей камере влияет на соотношение фаз, в частности, увеличение давления O 2 (от 0,23 до 0,65 Па) приводит к значительному возрастанию объемной доли моноклинной фазы в напыляемом покрытии (от 15 до 85 %). Показано, что размер зерен в формирующейся наноструктуре чувствителен к количеству O 2 лишь при низких парциальных давлениях (менее 0,35 Па); формирование однофазной (тетрагональной) структуры в покрытии происходит после отжига при температуре 1100 °С и выше, при этом наноструктурированность материала сохраняется; переход к однофазной структуре сопровождается увеличением микротвердости покрытия.