СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ В НАНОМЕТРОЛОГИИ
В данной статье рассматривается один из методов сканирующей зондовой микроскопии, применяемый в области нанометрологии, а именно атомно-силовая микроскопия. Изложены основные отличия и особенности из-за которых данный метод получил широкое распространение при проведении метрологического контроля наноразмерных объектов.