Синтез и оптические свойства пленок сложных оксидов на основе олова и ниобия
На подложках монокристаллического кремния и кварца синтезированы пленки сложного оксида состава Sn2Nb2O7. Образцы получали магнетронным осаждением ниобия, последующим термооксидированием и модифицированием оксида ниобия NbO2 оловом путем отжига пленочной системы Sn-NbO2 в вакууме и в потоке кислорода при Т =773 К. Методом РОР определены концентрационные распределения компонентов в пленке, свидетельствующие о диффузионном проникновении олова в пленку оксида ниобия в процессе вакуумного отжига. Методами РЭМ и АСМ установлено, что с увеличением температуры отжига происходит укрупнение кристаллитов при неизменно гладкой поверхности пленки со значением шероховатости ~ 10 нм. Пленка оксида ниобия оптически более прозрачна, чем пленка после вакуумного отжига системы Sn-NbO2, и менее прозрачна, чем пленка сложного оксида Sn2Nb2O7, полученная в ходе последующего термооксидирования. Определены значения энергий прямых переходов: 4.02 эВ для пленки NbO2 и 4.19 эВ для пленки на основе оксида ниобия Nb2O5 гексагональной модификации и сложного оксида состава Sn2Nb2O7. Авторы благодарят Л.А. Битюцкую за измерения методом АСМ и обсуждение полученных результатов. Работа выполнена при поддержке гранта РФФИ № 08-03-99003-р_офи.