КОНСТРУИРОВАНИЕ ГАЗОВЫХ МИКРОСИСТЕМ НА ОСНОВЕ НАНОПОРИСТОГО АНОДНОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯ
Установлено влияние пористости подложки из анодного оксида алюминия на основные параметры 4-сенсорной газовой микросистемы. В расчетах использованы зависимости компонентов тензоров модуля упругости и теплопроводности от пористости для α-Al2O3, полученные методом конечных элементов.