Определение послойного состава твердого тела методом спектроскопии пиков упругоотраженных электронов с энергетическим сканированием
Измерены спектры электронов, упруго отраженных от мишени Au-Si при энергиях 8, 10, 12 и 15 кэВ. Описана модель формирования энергетического спектра электронов, упруго отраженных от многокомпонентной мишени. Установлены границы применимости классической модели однократного рассеяния для описания спектров электронов. Описан метод энергетического сканирования мишеней в спектроскопии пиков упругоотраженных электронов. Определен послойный профиль распределения атомов золота в кремнии по спектрам упругоотраженных электронов. Проанализированы погрешности методики восстановления послойных профилей.