Структура и свойства многослойных плазменных покрытий <i>Ti - Cu</i>
В статье использовались катоды Ti и Cu. Покрытия наносились на стальные образцы ионно - плазменным методом на вакуумной установке ННВ-6.6И1 при одновременном распылении указанных выше катодов. Создавались многослойные покрытия следующим образом: в течение 2 мин наносился Ti, затем в течение 2 мин - Ti+Cu. Всего наносилось 100 слоев в атмосфере аргона и азота. Синтезированные нами Ti-Cu-N  покрытия обладали твердостью со средним значением до 32 ГПа, модулем упругости 400-550 ГПа, степенью упругого восстановления 0,69 и индексом пластичности около 0,15, что, по совокупности параметров, является одним из лучших примеров среди известных упрочняющих покрытий. Результаты трибологических исследований показали, что Ti-Cu-N покрытие, осажденное по оптимальному режиму вакуумно - дугового испарения композиционного Ti-Cu катода с плазменным ассистированием на твердую подложку, обладает низким коэффициентом трения, среднее значение которого равно μ = 0,31. Результаты рентгенофлуоресцентного анализа подтверждают наличие меди в исследуемом покрытии. Поэтому можно сделать предположение, что медь, не образуя собственной кристаллической фазы и не находясь в кристаллической решетке других фаз, расположена на границах кристаллитов в аморфном состоянии. Время, за которое атомы меди образуют вокруг растущего кристаллита TiN замкнутую оболочку, определяет время роста кристаллита, а соответственно, и его размер. Результаты исследований структурно - фазовых, трибологических и физико - механических характеристик при высоких значениях температур подтвердили, что многослойные нитридные Ti-Cu-N покрытия можно использовать как износостойкие, для защиты изделий из твердого сплава в диапазоне температур 25-700 °С. При температурах выше 700 °С структура и свойства защитного слоя претерпевают изменения, покрытие деградирует и не выполняет защитных функций.