СТРУКТУРНЫЕ И ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ МЕТАЛЛОПОЛИМЕРНЫХ КОМПОЗИТОВ, ПОЛУЧЕННЫХ ИМПЛАНТАЦИЕЙ ИОНОВ ЖЕЛЕЗА В ПЭТ И ФОТОРЕЗИСТ
Изучены рельефно-структурные и электронно-транспортные характеристики полиэтилентерефталата и фоторезсита модифицированного имплантацией ионов железа с энергией 40 кэВ в интервале доз 2,5×10 16 - 1,25×10 17cм -2 при плотности ионного тока 4 мкA/cм 2. Показано, что при достижении пороговой дозы D=1×10 17cм -2 наблюдается переход от диэлектрического к металлическому режиму переноса электронов в случае ПЭТ. Наблюдается образование наноструктур на поверхности обоих полимеров. Проанализированы их морофологические и электрофизические характеристики в зависимости от дозы имплантации.