РОСТ НИТЕВИДНЫХ КРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ, ЛЕГИРОВАННЫХ ГЕРМАНИЕМ
Установлено влияние температуры процесса синтеза нитевидных кристаллов кремния на их уровень легиро-вания германием из газовой фазы. Получено распределение массы осадка кремния и германия по зоне реактора, при этом максимум массы осадка Ge с увеличением температуры смещается в начало зоны реактора. Установлено, что для одних и тех же условий роста легированные германием нитевидные кристаллы кремния имеют призматическую форму, в то время как не легированные сохраняют цилиндрическую форму. Наличие высокой концентрации герма-нийсодержащих компонентов в газовой фазе приводит к огранению НК плоскостями (211) и получению кристаллов шестиугольного сечения. Уменьшение содержания германийсодержащих компонентов в газовой фазе приводит к об-разованию двенадцатигранных кристаллов