Разработка интегрального микроэлектромеханического переключателя емкостного типа
Разработана конструкция интегрального микроэлектромеханического переключателя (МЭМС) емкостного типа. Приведены результаты расчета значений управляющих напряжений, времени переключения и коэффициента передачи между входом и выходом при поднятой и опущенной мембране.