ФОРМИРОВАНИЕ ИНТЕНСИВНЫХ КЛАСТЕРНЫХ ПУЧКОВ АРГОНА ДЛЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ
Произведена модернизация экспериментального комплекса ЛЭМПУС-1. Выполнены экспериментальные исследования формирования кластерных пучков аргона для создания технологического процесса ионно-кластерной модификации материалов. Получены кластерные пучки с интенсивностью до 5 ∙ 1014 кластеров/см2 ∙ с при среднем размере кластеров 1 300. Найдены оптимальные условия формирования кластерного молекулярного пучка.