Пористые кремниевые мембраны для топливных элементов
Рассмотрены технические возможности создания различных узлов микротопливных элементов с помощью процессов, которые широко применяются в промышленной микроэлектронике, а также методов микро- наноструктурирования и технологии пористого кремния. Особое внимание уделяется конструктивно технологическим особенностям формирования и применения различных пористых структур кремния и мембран на их основе.