Исследование физико-механических свойств износостойких вакуумных покрытий и пленок на специализированном прецизионном оборудовании
Рассмотрены методы исследования физико-механических свойств износостойких вакуумных покрытий и пленок на специализированном прецизионном оборудовании. Представлен прибор kaloMAX NT II фирмы «BAQ GmbH», Германия для определения износостойкости и толщины покрытий, а также слоев покрытий с микронной точностью с компьютерной программой kaloSOFT. Для определения адгезии, деформации, отслаивания путем испытания царапанием, исследования механизма разрушения, микротвердости пленок и покрытий использовали прибор скретч-тестер системы Nanovea.