ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ ФОТОПРИЕМНИКОВ В БЛИЖНЕЙ ИНФРАКРАСНОЙ ОБЛАСТИ СПЕКТРА ПРИ ВЫСОКОЙ ТЕМПЕРАТУРЕ
Получены зависимости квантовой эффективности твёрдотельных фотоприёмников на основе МПЗС и КМОП технологий от длины волны в ближней инфракрасной области спектра в диапазоне температур от +50 С до +130 С. Показано, что для КМОП-сенсора на длине волны 940 нм повышение квантовой эффективности составляет 1,1…1,3 раза, а на длине волны 1064 нм - от 2 до 5 раз, при этом шумы темнового тока возрастают незначительно. Теоретические результаты подтверждены экспериментально на специально разработанном стенде.