Математическое моделированиегазодинамических процессов в вертикальном реакторе для осаждения слоев CdHgTe
Приведены результаты исследования газо-и термодинамики процесса осаждения слоев СdHgTe (КРТ) в вертикальном реакторе. Исследования проводились с использованием современных вычислительных технологий гидродинамики. Разработаны методы математического моделирования газодинамики реактора с учетом сжимаемости сред, турбулизации потока, теплопередачи посредствомконвекцииитеплопроводности. Установлено наличие вихреобразований в реакторе, которые оказывают как негативное, так и позитивное влияние на процесс. Проведен ряд поисковых вычислительных экспериментов, направленных на поиск путей повышения однородности осаждаемых слоев КРТ. По результатам этих экспериментов предложены конкретные меры, связанные с геометрической модернизацией реактора, а также модификацией условий протекания процесса.