Легирование сплавов на основе меди для получения плёночных материалов со специальными свойствами
Представлен обзор исследованных в ИМЕТе фазовых диаграмм состояния в области сплавов, богатых медью, и диаграмм «состав - удельное электросопротивление» и «состав - температурный коэффициент электросопротивления» медных сплавов, легированных марганцем, оловом, титаном, никелем и рядом других элементов в объемном и пленочном исполнении. Эти исследования были инициированы профессором М.Е. Дрицем и проведены под его руководством. Показано, что для получения проводниковых и резистивных элементов тонкопленочных гибридно-интегральных микросхем сплавы на основе меди следует легировать элементами, которые образуют с медью широкие области твердых растворов и сильно влияют на изменение электрофизических свойств в широком интервале концентраций вводимых элементов. Сформулированы основные принципы легирования основы сплава - меди - при разработке проводниковых и резистивных пленочных материалов.