ИССЛЕДОВАНИЕ ПОГРЕШНОСТЕЙ НЕПРЯМОГО СПЕКТРАЛЬНОГО КОНТРОЛЯ ТОЛЩИН СЛОЁВ МНОГОСЛОЙНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ ПУТЁМ КОМПЬЮТЕРНОГО МОДЕЛИРОВАНИЯ
Представлены результаты исследования погрешности способа непрямого контроля, основанного на измерении спектров отражения в широкой спектральной области от дополнительных контрольных подложек, путём математического моделирования. Для проведения моделирования разработано программное обеспечение Deposition Control Simulator, позволяющее оценить влияние на случайную и систематическую погрешности измерения толщины наносимого слоя параметров системы контроля: шума линейки фотодетекторов, рабочего спектрального диапазона спектрометра и погрешности его градуировки по длинам волн, дрейфа интенсивности источника излучения, а также погрешности показателя преломления наносимых материалов. Для численного решения прямой и обратной задач многослойных покрытий использовалась библиотека OptiReOpt. Приведены зависимости случайной и систематической погрешностей измерения толщины наносимого слоя от его толщины при различных значениях параметров системы контроля. Даны рекомендации по применению способа непрямого контроля в целях снижения погрешности измерения толщины наносимого слоя.