СОЗДАНИЕ МЕТОДАМИ LIGA-ТЕХНОЛОГИИ МИКРОСТРУКТУРНЫХ ФИЛЬТРОВ СУБТЕРАГЕРЦОВОГО ДИАПАЗОНА И ИССЛЕДОВАНИЕ ИХ СЕЛЕКТИВНЫХ СВОЙСТВ
В работе рассмотрены особенности применения методов LIGA-технологии при создании квазиоптических фильтров субтерагерцового диапазона на основе самонесущих микроструктур металлического и псевдометаллического типов. С учетом этих особенностей в Сибирском центре синхротронного и терагерцового излучений (СЦСТИ, ИЯФ СО РАН) изготовлены низко-и высокоаспектные индуктивные микроструктуры с топологией дипольных щелей, которые послужили селективными элементами в полосовых пропускающих фильтрах для интервала частот 0,25–0,45 ТГц. С использованием техники ЛОВ-спектроскопии проведена характеризация частотно-селективных свойств изготовленных фильтров. Показано хорошее согласие полученных экспериментальных данных с результатами численного моделирования.