ПРИМЕНЕНИЕ ДИФФУЗНОГО РАЗРЯДА, ФОРМИРУЕМОГО УБЕГАЮЩИМИ ЭЛЕКТРОНАМИ В ПОТОКЕ АЗОТА АТМОСФЕРНОГО ДАВЛЕНИЯ, ДЛЯ ОЧИСТКИ И ОКСИДИРОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТИ АЛЮМИНИЯ
Проведена модификация поверхности алюминия плазмой импульсно-периодического разряда в неоднородном электрическом поле в потоке азота атмосферного давления. Благодаря генерации убегающих электронов и рентгеновского излучения, объемный (диффузный) разряд формировался между плоским алюминиевым анодом и катодом с малым радиусом кривизны, на который подавались импульсы напряжения отрицательной полярности с частотой 2 кГц, длительностью ~6 нс и с амплитудой в падающей волне до 30 кВ. В плазме разряда, реализованного в данных условиях, происходит очистка поверхности алюминия от углерода, а также образование на ней оксидного слоя толщиной до 25 нм.