Прозрачные проводящие слои на основе ZnO, полученные магнетронным распылением композитной металлокерамической мишени ZnO:Ga–Zn: Часть 1
Проведено сравнительное осаждение слоев ZnO:Ga методом магнетронного распыления керамической мишени ZnO:Ga(3 моль %) и композитной металлокерамической мишени ZnO:Ga(3 моль %)–Zn(20 мас. %) в режиме постоянного тока при температурах подложек 50 и 200°С. Исследование процессов формирования, структуры и функциональных характеристик слоев, полученных при распылении мишеней обоих типов в среде Ar, показывает, что увеличение содержания цинка в потоке реагентов при нагреве подложки до 200°С способствует улучшению структурного совершенства слоев и проводимости при сохранении высокого коэффициента оптического пропускания.