ИССЛЕДОВАНИЕ РЕЖИМОВ ФОРМИРОВАНИЯ И МОДИФИКАЦИИ ОРИЕНТИРОВАННЫХ МАССИВОВ УГЛЕРОДНЫХ НАНОТРУБОК МЕТОДОМ PECVD НА НАНОТЕХНОЛОГИЧЕСКОМ КОМПЛЕКСЕ НАНОФАБ НТК-9
Представлены результаты экспериментальных исследований режимов формирования вертикально-ориентированных массивов углеродных нанотрубок (УНТ) и их последующей модификации фокусированным ионным пучком (ФИП) с целью создания гибридных углеродных наноструктур (ГУНС). Решаются задачи, связанные с изучением механизмов формирования и роста УНТ, их модификации под воздействием ФИП и определением параметров технологического процесса создания ГУНС. Проведены экспериментальные исследования по созданию ГУНС, в результате которых получены модифицированные и Y-образные гибридные углеродные наноструктуры, а также наноструктуры покрытые графитовыми чешуйками, обладающие большей развитостью поверхности и сложной геометрической формой.