Влияние окружающей среды на физические свойства эпитаксиальных пленок оксида цинка
Поликристаллические и эпитаксиальные пленки окиси цинка обладают сравнительно низким сопротивлением. В связи с этим в использование их без предварительной обработки совершенно невозможно. С целью повышения сопротивления применяются отжиг в окислительной среде или легирование различными элементами, которые создают компенсацию свободных носителей.