МИКРОПУЧКОВЫЙ РЕНТГЕНОЛИТОГРАФ ДЛЯ ПРЯМОГО ФОРМИРОВАНИЯ ГЛУБОКИХ LIGA-СТРУКТУР
На станции LIGA на накопителе ВЭПП-3 Сибирского центра синхротронного и терагерцового излучения реализован режим работы микропучкового рентгенолитографа – нового устройства для прямого формирования микроструктур в толстых слоях рентгенорезистов, в том числе для изготовления рентгеношаблонов. С использованием специального программного обеспечения коллимированным пучком синхротронного излучения при перемещении подложки векторным образом непосредственно в слое негативного резиста SU-8 толщиной до 1 мм формируется рисунок микроструктуры с произвольно заданной топологией. Представлено описание устройства установки, её технологические возможности и ограничения. Приведены примеры изготовленных микроструктур с высоким аспектным отношением и рентгеношаблонов.