ОСОБЕННОСТИ ИЗМЕРЕНИЯ СУБВОЛНОВОГО ФОКУСНОГО ПЯТНА БЛИЖНЕПОЛЬНЫМ МИКРОСКОПОМ
В работе численно и экспериментально исследовалось влияние полого металлического пирамидального кантилевера сканирующего ближнепольного оптического микроскопа на результат измерения характеристик субволнового фокусного пятна. На примере фокусировки линейно-поляризованного лазерного гауссова пучка с длиной волны λ=633 нм зонной пластинкой Френеля с фокусным расстоянием 532 нм было показано, что полый кантилевер из алюминия с углом при вершине 70° и отверстием 100 нм регистрирует преимущественно интенсивность поперечных компонент электрического поля. При этом фокусное расстояние равно 0,36λ, меньший диаметр эллиптического фокуса равен (0,40±0,02)λ, глубина фокуса – 0,59λ, а дифракционная эффективность – 12%.