СТРУКТУРА Ir и Ir-Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> ПОКРЫТИЙ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ПАРОВОЙ ФАЗЫ В ПРИСУТСТВИИ КИСЛОРОДА
Методом химического осаждения из паровой фазы получены Ir и Ir-Al2O3 покрытия толщиной до 40 мкм на стальных подложках, предварительно покрытых слоем Al2O3. В качестве исходных соединений были использованы трис-ацетилацетонаты иридия(III) и алюминия(III). Процессы осаждения проводили при атмосферном давлении в присутствии кислорода. Полученные покрытия изучены методами рентгеновской дифракции, рентгенофотоэлектронной спектроскопии и сканирующей электронной микроскопии. Установлены зависимости структуры и состава покрытий от условий их получения. Повышение температуры осаждения приводит к формированию Ir покрытий с рыхлой, несплошной структурой, увеличению размеров металлических кристаллитов и росту содержания кислорода в их составе. Увеличение концентрации паров прекурсора в зоне осаждения при постоянной температуре осаждения приводит к образованию Ir покрытий, состоящих из слоев с различной структурой (компактной, столбчатой и зернистой). Наиболее совершенную, компактную, сплошную структуру имеют смешанные Ir-Al2O3 покрытия, состоящие из кристаллитов металлического Ir и аморфного Al2O3, в которых проявляется выраженная текстура иридия в направлении [1 1 1]. Введение оксидной фазы в состав покрытия приводит к уменьшению размеров кристаллитов Ir вдвое.