СИНТЕЗ И МЕХАНИЗМ ФОРМИРОВАНИЯ СЛОЖНОГО ОКСИДА TiNbO<sub>4</sub>
В работе изучен процесс формирования сложного оксида TiNbO4 в тонкопленочном состоянии на подложке из монокристаллического кремния в условиях взаимодействия пары металл-оксид при фотонном отжиге в вакууме. Представлены данные рентгенофазового анализа и предложена модель формирования оксида сложного состава TiNbO4.