Исследование спектральных зависимостей коэффициента поглощения в тонких пленках гидрированного кремния методом постоянного фототока с модулированным возбуждением
Исследованы спектральные зависимости коэффициента поглощения в тонких пленках аморфного гидрированного кремния, полученных разложением смеси моносилана и водорода при относительной доле водорода в газовой смеси, соответствующей условиям начала формирования нанокристаллической фазы в структуре пленок. Для измерения спектральных зависимостей коэффициента поглощения предложен и использован модифицированный метод постоянного фототока, основанный на модуляции возбуждающего светового потока. Исследовано влияние освещения различной длительности на спектры поглощения пленок, измеренных предложенным методом. По результатам исследования пленок a-Si:H, полученных в условиях, соответствующих началу формирования кристаллической фазы, можно предположить наличие в структуре пленок нанокристаллов кремния, влияющих на оптические свойства a-Si:H.