Перспективы использования фианита как материала микро- и фотоэлектроники для создания фотоприемников
Рассмотрены перспективы использования фианита в фотоэлектронике. Показано, что этот материал особенно актуален в технологии фотоприемников на основе Ge, InGaAs. Указаны основные направления использования фианита в качестве защитного и стабилизирующего слоев подложки для эпитаксиальных слоев InGaAs и как диэлектрик в структуре "полупроводник на диэлектрике", где полупроводником является InGaAs.