Альтернативные транспортные средства для экологически совершенного вакуумного оборудования электронной техники
Рассмотрены тенденции развития современных транспортных средств для экологически совершенного вакуумного оборудования электронной техники. Показано, что альтернативными транспортными средствами для этого оборудования являются механические системы, построенные с использованием принципов бесконтактного магнитного взаимодействия и управляемой упругой деформации. Представлены методика и результаты расчета устройств на привносимые загрязнения микрочастицами износа в контролируемой вакуумной среде. Такой подход обеспечивает создание экологически чистого оборудования в индустрии высоких вакуумных технологий.