சீரமைத்தல் (annealing) : அயனிகள் சிலிக்கன் அணுக்களுடன் மோதுவதால், வேஃபரின் மேல்பகுதிக்கு கொஞ்சம் சேதம் ஏற்படும். இதை சரிப்படுத்த வேஃபரை அதிக வெப்ப நிலையில் (சுமார் 700 முதல் 1000o C வரை) சிறிது நேரம் வைக்க வேண்டும். இதை விரைவாக செய்ய வேண்டும். உதாரணமாக, வேஃபரை 20 அல்லது 30 வினாடிகளில் சாதாரண அறை வெப்பநிலையிலிருந்து 1000o Cக்கு கொண்டுசெல்ல வேண்டும். இம்முறை ‘விரைவு வெப்ப சீரமைத்தல்’ (Rapid Thermal Annealing) அல்லது ‘ஆர்-டீ-ஏ’ (RTA) என்று சொல்லப்படும். இவ்வாறு விரைவில் வெப்ப நிலையை உயர்த்த ‘டங்க்ஸ்டன் ஹேலோஜன் விளக்கு’ (Tungsten Halogen Lamp) என்ற வகை விளக்கு பயன்படுகிறது. இவ்விளக்குகளின் மூலம் வேஃபரின் மேல்பகுதி மட்டும் சூடுபடுத்தப்படும்