Bitte generiere eine JSON-Repräsentation der Prozessgase, die für die amorphe Kohlenstoffabscheidung in PECVD verwendet werden, wobei die molekulare Formel als Schlüssel, der Gasname in der Beschreibung enthalten ist und ein "dep rate"-Schlüssel angegeben wird, der den wahrscheinlichsten Effekt auf die Kohlenstoffabscheidungsrate nach Erhöhung des Gasanteils in einem Prozess angibt (mit Werten von "erhöhen", "verringern" oder "unwesentlich"). Füge auch eine Zahl von 1-10 hinzu, die die Stärke des Glaubens an den beschriebenen Effekt angibt. Die Überschrift sollte "amorphe Kohlenstoff-PECVD" sein.
Hier ist die von Ihnen angeforderte JSON-Repräsentation:

``` json:

{
  "amorphe Kohlenstoff-PECVD": {
    "CH4": {
      "description": "Methangas",
      "dep rate": {
        "erhöhen": 8
      }
    },
    "C2H2": {
      "description": "Acetylengas",
      "dep rate": {
        "erhöhen": 7
      }
    },
    "C2H4": {
      "description": "Ethylen gas",
      "dep rate": {
        "erhöhen": 6
      }
    },
    "C3H8": {
      "description": "Propangas",
      "dep rate": {
        "erhöhen": 5
      }
    },
    "Ar": {
      "description": "Argongas",
      "dep rate": {
        "verringern": 2
      }
    },
    "H2": {
      "description": "Wasserstoffgas",
      "dep rate": {
        "erhöhen": 7
      }
    },
    "N2": {
      "description": "Stickstoffgas",
      "dep rate": {
        "verringern": 4
      }
    },
    "O2": {
      "description": "Sauerstoffgas",
      "dep rate": {
        "verringern": 8
      }
    }
  }
}

```

Beachte, dass die Werte für "dep rate" subjektiv sind und auf allgemeinen Trends in der Literatur basieren und nicht unbedingt spezifische Bedingungen oder Materialien widerspiegeln. Diese Werte sollten nur als grobe Richtlinie verwendet werden und sollten nicht das tatsächliche Experimentieren und Optimieren von Prozessbedingungen ersetzen.

Hier sind einige Quellen für weitere Informationen:
https://www.osti.gov/servlets/purl/1573139
https://www.researchgate.net/publication/229348700_Amorphous_hydrogenated_carbon_films_deposited_by_PECVD_Influence_of_the_substrate_temperature_on_film_growth_and_microstructure