Wates administrasi Kabupatèn yaiku ing sisih lor wewatesan karro Kutha Semarang, lan Kabupatèn Demak. Sisih kidul wewatesan karo Kabupatèn Boyalali lan Kabupatèn Magelang, sisih wétan wewatesan karo Kabupatèn Boyalali lan Kabupatèn Grobogan. Sisih kulon wewatesan karo Kabupatèn Temanggung lan Kabupatèn Kendhal. Ing satengahé wewengkon iki dumunung Kutha Salatiga. Rata-rata dhuwuré panggonan ing Kabupatèn Semarang 607 mèter sakdhuwuré lumahing segara. Laladan paling cendhèk yaiku ing Désa Candhireja Kacamatan Ungaran. Laladan paling dhuwur ing Désa Batur Kacamatan Getasan.