Sajrone waktu kang padha, ing panggonan liya ana sewong Baron von Holbach kang ngandarake salah sijiné materialisme ateisme. Materialisme ateisme meh padh sajrone wujud lan "substansin"e, kang ora ngakui anané Alloh kanthi mutlak. Jiwa sebenere padha karo fungsi-fungsi utek. Nalika Abad 19, muncul filsuf-filsuf materialisme asal Jerman kaya ta Feuerbach, Moleschott, Buchner, lan Haeckel. Dhèwèké kang sebanjure nerusaké anané materialisme.