Los dispositivos smem pueden hacerse de polímeros, mediante procesos de moldeo por inyección, estampado o estéreo litografía, estos dispositivos SMEM son especialmente adecuados para aplicaciones micro fluídicas tales como los cartuchos desechables para análisis de sangre. 

 Metales. 
 Los metales también se pueden usar para crear elementos smem. aunque los metales no tienen algunas de las ventajas mostradas por el silicio en términos de propiedades mecánicas, cuando se utilizan dentro de sus limitaciones, los metales pueden presentar grados muy altos de fiabilidad. 

 los metales pueden ser depositados mediante galvanoplastia, evaporación, y mediante procesos de pulverización. Los metales comúnmente utilizados incluyen al oro, níquel, aluminio, cromo, titanio, tungsteno, plata y platino. 

 Procesos para producción de sistemas microelectromecánicos. 
 Procesos de deposición.
Los dispositivos SMEM pueden hacerse de polímeros, mediante procesos de moldeo por inyección, estampado o estéreo litografía, estos dispositivos SMEM son especialmente adecuados para aplicaciones micro fluídicas tales como los cartuchos desechables para análisis de sangre. 

 Metales. 
 Los metales también se pueden usar para crear elementos SMEM. Aunque los metales no tienen algunas de las ventajas mostradas por el silicio en términos de propiedades mecánicas, cuando se utilizan dentro de sus limitaciones, los metales pueden presentar grados muy altos de fiabilidad. 

 Los metales pueden ser depositados mediante galvanoplastia, evaporación, y mediante procesos de pulverización. Los metales comúnmente utilizados incluyen al oro, níquel, aluminio, cromo, titanio, tungsteno, plata y platino. 

 Procesos para producción de sistemas microelectromecánicos. 
 Procesos de deposición.
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