Beispielsweise behauptet Micron Technology, Chips der nächsten Generation könnten – anstatt mit EUV – auch mit den neuesten Maschinen mithilfe von „tiefer ultravioletter Lithographie“ (DUV) hergestellt werden.
For example, Micron Technology claims that next-generation chips can be developed using a last-generation process machine – “deep ultraviolet lithography” (DUV) – instead of EUV.