Он , пусть и со многими ограничениями , работает на микроуровне , подтверждением чему служат так называемые микроэлектромеханические устройства .
он$28 ,$0 пусть$0 и$0 с$0 много$1384 ограничение$1482 ,$0 работать$18 на$0 микроуровень$1520 ,$0 подтверждение$1562 что$1874 служить$100 так$36 называть$2094 микроэлектромеханический$1544 устройство$1706 .$0