ナノ表面計測事業部は、ナノプローブテクノロジー第167委員会の企業会員です。1つであり、走査型プローブ顕微鏡(SPM)の基礎・応用技術の組織的発展を目標に活動しています。Tappingに代表されるブルカーの独自技術とnanoIRテクノロジーがついに融合しました。加え、ナノスケールでの赤外分光分析が一つのシステム上で実現します。MFM他にもここに記載の無いモードやアクセサリーとの組み合わせが可能です。