RECRYSTA価格:お問合せください型番:RECRYSTA在庫:無しご注文、御問合せはこちら従来、半導体や液晶の熱処理プロセスでは金属製の面状ヒーターやホットプレートが採用されて来ました。近年は絶縁膜の高耐熱化の傾向が進み、面状ヒーターやホットプレートにも高温性能が求められています。処理温度500°Cの高温ヒーターを開発するに至りました。「RECRYSTA」は、半導体製造装置や液晶・有機EL製造装置への採用を目的に開発された平板型ヒーターです。材料を500°Cの高温に加熱できるのでCVDの予熱やPI膜の焼成の工程で利用できます。具体的には焼成炉や予熱炉などのヒーターとしての採用を期待しています。安定して600°Cの高温を維持できる。ヒーター表面温度精度は±2%以内を確保。2.ヒーターが軽量な為、温度レスポンスが優れている20~600°Cまで10分以内で昇温可能。ヒーターが軽量な為、温度レスポンスが優れている。3.低発塵性(クラス10)ヒーター材料が低発塵の為、クラス10に対応する。同様・現状ヒーターより大幅なコスト削減を実現。