NANOBIC』において、4大学の先端機器によるナノファブスクエアを開催しています。シリコンマイクロ流路」をモデルチップとし、シリコン酸化、シリコン異方性エッチング、ナノパターン形成および陽極接合について学ぶことができます。シリコン基板に熱酸化法による薄膜を形成し、フォトリソグラフィにより、マイクロ流路パターンを形成します。シリコン基板上に、熱酸化膜をマスクとして、異方性ウェットエッチングによるマイクロ流路パターンを形成します。シリコン基板に塗布されたレジストに、電子線描画によりハーフピッチ200nmのパターンを形成します。ガラスとマイクロ流路を形成したシリコン基板を陽極接合する講義・実習を行います。陽極接合は、シリコンMEMSチップ実装の封止に使用される技術です。請求書を郵送いたします。請求書に記載されている指定の口座に、開講日までにお振り込みください。開講日までのお振り込みが難しい場合は、事務局までご連絡ください。原則、キャンセルはお受けいたしかねます。やむを得ない事情によりキャンセルをご希望される場合は、以下期日までに事務局にご連絡ください。6日(火)新型コロナウイルス感染症についてマスク着用、手洗い・手指消毒、ソーシャルディスタンスの確保等にご協力ください。しさがある方はご来所をお控えください。受講料請求書等の必要書類を郵送いたします。許可なく講義内容の一部、およびすべてを複製、転載または撮影、配布、印刷など、第三者の利用に供することを禁止します。やむを得ない事情により、日程・内容等の変更や中止をする場合があります。保証書必要事項をご記入の上、参加日当日にご持参ください。当日は13:10より受付開始とさせていただきます。※★を@に変換してください。省略せずにご入力ください(例:○○株式会社)。個人の方は、「個人」とご入力ください。姓と名の間にスペースをいれてください。氏名ふりがな姓と名の間にスペースをいれてください。郵送にて案内・請求書等をお送りする際に必要となります。正確なご住所入力にご協力ください。※このフォームにより入手した個人情報は、プライバシーポリシーに従い、適切に取り扱います。※一度クリックしたらしばらくお待ちください。画面が切り替わるのに時間がかかる場合がございます。確認画面へ予期しない問題が発生しました。後でもう一度やり直すか、他の方法で管理者に連絡してください。ついては、下のボタンからお問い合わせください。その他のお問い合わせはこちら技術相談・技術的なお問い合わせ製造上のトラブルなど技術的問題について、各分野の担当者が相談をお受けし、解決に向けて具体的な支援メニューをご提案します。