Tribo/Orbis研磨業界において50年以上の歴史を持つロジテック社(英国)が提供する、最高レベルの研磨装置と技術力が、今まで不可能であったプロセスを確立します。特徴COF(摩擦係数)やパッド表面温度、研磨液の温度、装置内の室温などをモニターしており、これらのパラメーターで上限値を設定出来、例えばパッドの温度やCOFが上昇したときに研磨を停止させることができます。2種類の圧力(荷重)が働き、「ダウンロード」はダイヤフラムの力でサンプルに対してヘッドを押し付けることが出来、「バックプレッシャー」はキャリアヘッド内部の溝にエアーが流れ込み、表面(アルミ)自体が逃げ場を失ったエアーによって持ち上げられて変形し、サンプルに対して圧を掛けることが出来ます(ヘッドの表面自体が変形して圧を掛けます)。25psiの時にヘッド表面はフラットになり、26psi以上になると膨れ、24psi以下になると凹みます。サンプルの反りを確認してから、この圧を設定することが出来ますので、反ったウエハーでも均一に研磨が可能です。複数のスラリーポンプを搭載し、プロセスに応じて自動でスラリーを切り替えることができます。プロセスコントロールタッチパネルで全てのパラメーターを設定できます。スラリーの切り替えも自動です。分析用にデータを保存、出力できます。モニター、保存ができるパラメーターは下記の通りです。﻿お問い合わせフォームが表示されるまでしばらくお待ち下さい。(プライバシーポリシー)個人情報に関する法令・規範を遵守します。当社はお客様の個人情報への不正アクセス、紛失、破壊、改ざん及び漏洩等の防止に努めます。個人情報は法令に基づき開示される以外は、個人情報をお客様に明示した利用目的の範囲内で取扱い、第三者に譲渡、提供はしません。reservedお問い合わせ。