実機展示シリコン基板を赤外透過し基盤の裏面と表面を同時観察。チップの位置合わせやパターンずれ測定など様々な検査が可能です。上下の2つの光学系により表裏を同時観察。専用のソフトウエアによりサブミクロンの測定精度を実現。様々なサンプルに対応します。高精度かつワイドレンジな変位計測が可能です。長ストロークピエゾステージ1台のステージで粗調、微調が可能です。日本国内への配送に適用されます。Cookie(クッキー)を利用しています。使用に同意いただける場合は、「同意します」をクリックしてください。ポリシーをご確認ください。