その2今回はドラム回転方式のパウダーコーティングを解説します。PVDやCVDでも使用されているやり方で、回転する容器の中に入っているパウダーにプリカーサーのガスが投入されて、膜をつけていく方法です。以下がその構成になります。ここでもガスの取り回しは同じですが、パウダー粒子が入る容器が回転しているため常にパウダーが転がり続けて、表面に出てくるパウダーが異なる状態にしています。容器の中心付近をメインにガスが拡散して、パウダー粒子へのコーティングを行います。TMA投入、2パージ、3酸化系プリカーサー投入、4パージとなります。プロセスを走らせる度に、容器を交換しなければなりません。凝集の問題を完全に回避できないこともあり、短時間では均一に成膜しづらい問題もありそうです。教授浦岡行治氏がALDとALEに関するライブ配信セミナー(Zoom)を行います。教授霜垣幸浩氏がALDに関するライブ配信セミナー(Zoom)を行います。大阪大学の唐橋先生より案内がございました。ALD、ALEをなどをALPとして、リアルでのシンポジウムが2月10日(金曜)に開催されます。詳細案内はこちらにて。北海道大学様が主催にて、ALD技術のオンラインセミナーが12月22日(木曜)12:55~17:20に開催されます。詳細案内はこちらにて。セミナーシンポジウム(講習会)紹介「CVD・ALDプロセスの基礎」CVD反応分科会(弊社もメンバー)主催にて、CVDやALDのプロセスに関してオンラインシンポジウムを12月9日(金曜)に開催されます。詳細案内はこちらにて。教授浦岡行治氏がALDとALEに関するライブ配信セミナー(Zoom)を行います。和典氏がALEに関するライブ配信セミナー(Zoom)を行います。浦岡先生がALDとALEに関するライブ配信セミナー(Zoom)を行います。霜垣先生がALDに関するライブ配信セミナー(Zoom)を行います。浦岡先生がALDとALEに関するライブ配信セミナー(Zoom)を行います。Etchingハードウエア粉体用ALDコーティングオゾンやプラズマについてその他ハードウエア製品お問合せブログTranslate。