「マグネトロンスパッタ続き」の一番下の動画で示したようなマグネットを一対使った系の方が速く製膜できます。霧箱冷却ステージ最終組み立てペルチェ素子1つで80x80x0.5mmのアルミ板を十分に冷やせることが分かりましたので、当初のペルチェ4枚使いから設計変更を行っていきます。その4その3以来ほぼ一年ぶりの再開です。あって昨年のMFTには参加できませんでした。今回も一応狙ってみるつもりです。その3ではペルチェ素子のホット側を水冷にすることを決めました。17PM-K016-G13S)を使って設計をやり直します。