各種気体を放電させると、それぞれ固有の光を発します。これらの光の波長ごとのスペクトル強度を測定することにより、各種気体の分圧を測定することができます。この分圧からそれぞれの気体の漏れ量を算出します。光を計測するので低真空まで容易に測定することが可能です。(右図は各種気体の発光色例です。)右図は、既知のコンダクタンスを有する素子を用いて、大気圧の空気により感度校正を行った後、アルゴンガスを用いてどの程度正確に漏れ量を測定できるか確認したグラフです。大気で一度校正するだけで窒素やアルゴン等のガス種によらず、10-8Pa・m3/sまで正確に測定することが可能です。グラフィック表示付ハンドヘルド型SLD-100が日刊工業新聞紙面にて紹介されました。