mmのウェーハ用のさまざまな接合プロセスを行うための設定や構成で最大4台までのボンドチャンバーの搭載が可能です。EVGのマニュアル接合システムと同様のチャンバーデザインと主要機能をベースに、自動装置として強化されたEVG560は、更なるプロセス制御により、高い歩留まりを実現しています。自動ロボット搬送機能により、ウェーハとボンドチャックをロード/アンロードします。(EVG)サイト管理者プライバシーポリシ。